Erittäin tarkan liikkeenohjauksen alalla ilmakellukkeen erittäin tarkka liikemoduuli on tullut ihanteelliseksi valinnaksi moniin huippuluokan valmistus- ja tieteellisen tutkimuksen skenaarioihin kitkattomien ja erittäin tarkkojen liikeominaisuuksiensa ansiosta. Graniittitarkkuusjalustan käyttöönotto on tarkoitettu parantamaan suorituskykyä lisäämällä voimakasta tehoa, mutta näiden kahden yhdistelmä ei ole täydellinen.
Ensinnäkin merkittäviä etuja
Erinomainen stabiilius: Graniitin sisäinen rakenne on miljoonien vuosien geologisten muutosten jälkeen tiivis ja tasainen, pääasiassa kvartsin, maasälvän ja muiden mineraalien tiiviisti yhdistämänä. Tämä ainutlaatuinen rakenne antaa graniittipohjalle erinomaisen stabiilisuuden. Ulkoisten häiriöiden, kuten ympäröivien suurten laitteiden toiminnan ja ympäristön lämpötilan vaihteluiden, aiheuttaman tärinän, edessä graniittipohja voi tehokkaasti estää ja vaimentaa tärinää. Elektronisten sirujen valmistuspajassa työstökoneet ja muut laitteet toimivat usein, ja graniittipohja voi vähentää ilmakelaan välittyvän erittäin tarkan liikemoduulin värähtelyamplitudia yli 80 %, mikä varmistaa moduulin tasaisen liikkeen ja tarjoaa vakaan perustan sirunvalmistusprosessin tarkoille prosesseille, kuten litografialle ja etsaukselle, ja parantaa huomattavasti sirunvalmistuksen saantoa.
Erittäin korkea tarkkuuden säilyminen: Ilmakellukkeen erittäin tarkka liikemoduuli vaatii erittäin suurta tarkkuutta, ja graniittipohjan alhaisen laajenemiskertoimen etu on tässä avainasemassa. Yleisen graniitin lämpölaajenemiskerroin on 5-7 × 10⁻⁶/℃, mikä on paljon pienempi kuin tavallisilla metalleilla. Kun lämpötila muuttuu, pohjan koko muuttuu hyvin vähän. Tähtitieteen alalla ilmakellukkeen erittäin tarkka liikemoduuli teleskooppilinssin hienosäätöön graniittipohjan kanssa voi varmistaa, että linssin paikannustarkkuus säilyy alle mikronin tasolla, vaikka päivän ja yön välinen lämpötilaero olisi suuri, mikä auttaa tähtitieteilijöitä havaitsemaan kaukaisia taivaankappaleita selkeästi.
Hyvä kulutuskestävyys ja pitkä käyttöikä: Vaikka ilmakelluva ultra-tarkkuusliikemoduuli vähentää suoraa kitkaa käytön aikana, pitkäaikaisessa käytössä on silti tietty kulumisriski. Graniitin kovuus on korkea, Mohsin kovuus voi nousta 6-7:ään, mikä on vahva kulutuskestävyys. Materiaalitieteen laboratorioissa usein käytetty ilmakelluva ultra-tarkkuusliikemoduuli, graniittipohja, kestää tehokkaasti ilmakelluvan liukusäätimen kitkaa verrattuna tavalliseen metallipohjaan, mikä voi pidentää moduulin huoltosykliä yli 50 %, vähentää laitteiden ylläpitokustannuksia ja varmistaa tieteellisen tutkimustyön jatkuvuuden.
Toiseksi, on puutteita
Korkeat kustannukset: Korkealaatuisten graniittiraaka-aineiden hankintakustannukset ovat korkeat, ja niiden louhinta, kuljetus ja käsittely ovat monimutkaisempia ja vaativat ammattimaisia laitteita ja teknologiaa. Sopivan graniittimalmin louhinnasta erittäin tarkan ilmassa kelluvan liikemoduulin pohjaksi jalostukseen, joka täyttää korkean tarkkuuden vaatimukset, se sisältää monia hienoja prosesseja, kuten erittäin tarkkaa leikkausta, hiontaa, kiillotusta jne., mikä nostaa graniittitarkkuuspohjan valmistuskustannuksia huomattavasti. Verrattuna muihin materiaaleihin, kuten metalliin, kustannukset voivat olla moninkertaiset tai jopa suuremmat, mikä rajoittaa sen laajamittaista käyttöä jossain määrin, erityisesti pienissä yrityksissä tai tieteellisissä tutkimuslaitoksissa, joilla on rajalliset budjetit.
Painavampi paino: Graniitin tiheys on suhteellisen suuri, noin 2,6–3,1 g/cm³, mikä johtaa painavampaan graniittiseen tarkkuusjalustaan. Laitteiden asennuksessa ja käsittelyssä tarvitaan ammattimaisia nostolaitteita ja työvoimaa, mikä lisää asennuksen vaikeutta ja kuljetuskustannuksia. Joissakin tilanteissa, joissa vaaditaan laitteiden tilankäytön suurta joustavuutta, painava alusta rajoittaa myös ilmakellukkeen erittäin tarkan liikemoduulin kätevää liikuttelua ja uudelleenasennusta, mikä vaikuttaa laitteiden tehokkuuteen ja sopeutumiskykyyn.
Sitä on vaikea käsitellä: graniitilla on korkea kovuus ja hauraus, ja käsittelylaitteet ja prosessivaatimukset ovat erittäin tiukat. Koneistusprosessissa on helppo saada halkeamia, halkeamia ja muita vikoja, ja koneistuksen tarkkuuden ja pinnan laadun varmistaminen on vaikeaa. Ilmakela-laitteen erittäin tarkan liikemoduulin vaatiman tarkan tasaisuuden ja suoruuden saavuttamiseksi käsittelyprosessin aikana on tehtävä monia testejä ja korjauksia, ja käsittelysykli on pitkä ja hylkäysprosentti on korkea, mikä lisää entisestään tuotantokustannuksia ja aikakustannuksia.
Graniittitarkkuusjalustalla varustetulla erittäin tarkalla liikemoduulilla on erinomaiset edut vakauden ja tarkkuuden suhteen, ja se soveltuu korkean tarkkuuden vaatimuksia vaativille huippuluokan kentälle. Käytännön sovelluksissa on kuitenkin otettava kattavasti huomioon myös lyhyen levyn kustannukset, paino ja käsittelyvaikeudet, ja kohtuullinen valinta tehdään etujen ja haittojen punnitsemisen jälkeen.
Julkaisun aika: 8.4.2025