Graniittialusta on tarkka mittaus- ja prosessointityökalu, jonka tarkkuuden ylläpito vaikuttaa suoraan tuotannon laatuun. Seuraavassa esitetään systemaattinen huoltosuunnitelma, joka kattaa ympäristön valvonnan, päivittäisen huollon ja ammattimaisen kalibroinnin sen varmistamiseksi, että alusta säilyttää nanometritason tarkkuuden pitkään.
1. Ympäristönhallinta: Rakenna tarkka suojaeste
Lämpötilan ja kosteuden hallinta
Työympäristön lämpötilan on oltava 20 ± 1 ℃. Jokainen 1 ℃:n vaihtelu aiheuttaa graniittialustan lämpömuodonmuutosta 0,5–1 μm/m. Työpajaan voidaan asentaa vakiolämpötilajärjestelmä, joka estää ilmastointilaitteiden puhaltamisen suoraan alustalle.
Kosteutta tulisi säätää 40–60 %:n välille. Liiallinen kosteus voi helposti aiheuttaa ruostetta metalliosiin, kun taas liian alhainen kosteus voi aiheuttaa staattisen sähkön häiriöitä mittauksessa.
Tärinäneristys
Alusta tulee pitää poissa tärinänlähteistä, kuten leimauskoneista ja jyrsinkoneista. On suositeltavaa pitää yli 3 metrin etäisyys tärinälaitteista.
Jos tärinää ei voida välttää, lavan pohjalle voidaan asentaa ilmajousivaimentimet, jotka vähentävät ympäristön tärinän vaikutusta lavan tasaisuuteen (mikä voi vähentää ulkoista tärinää yli 80 %).
2. Päivittäinen huolto: Huolellinen valvonta puhdistuksesta suojaukseen
Pintojen puhdistusohjeet
Pölynpoisto: Pyyhi pinta peurannahalla tai nukkaamattomalla liinalla samaan suuntaan joka päivä, jotta pölyhiukkaset (≥5 μm) eivät naarmuta alustaa. Pinttyneet tahrat voidaan pyyhkiä varovasti vedettömällä etanolilla (puhtaus ≥99,7 %). Vahvoja liuottimia, kuten asetonia, ei saa käyttää.
Rasvanpoisto: Jos alusta joutuu kosketuksiin öljytahrojen kanssa, pyyhi se laimennetulla neutraalilla puhdistusaineella, huuhtele sitten deionisoidulla vedellä ja anna kuivua ilmassa, jotta mineraaliöljy ei pääse tunkeutumaan alustan pieniin huokosiin.
Kuorma- ja törmäyssuojaus
Lavan kantavuutta tulisi rajoittaa 70 %:iin nimelliskuormasta (esimerkiksi 1000 kg:n lavalle suositellaan kuormaksi ≤ 700 kg) paikallisen ylikuormituksen aiheuttamien pysyvien muodonmuutosten välttämiseksi.
Työkappaleiden lyöminen alustalla on ehdottomasti kielletty. Käytä työkaluja käsitellessäsi pehmeitä käsineitä estääksesi terävien esineiden naarmuuntumisen pintaan (yli 20 μm:n syvyiset naarmut vaikuttavat heijastuneen valon matkan mittaukseen).
3. Ammattimainen kalibrointi: Tieteellisen tarkkuuden ylläpidon ydin
Kalibrointisyklin asetus
Perinteiset käyttötilanteet: Kalibroi neljännesvuosittain ja käytä laserinterferometriä tasaisuuden havaitsemiseen (tarkkuudella ±0,5 μm/m).
Usein toistuva käyttö tai vaativat ympäristöt: Kuukausittainen kalibrointi, jossa keskitytään lämpötilaherkkien alueiden (kuten alustan reunan lähellä lämmönlähteitä) valvontaan.
Kalibroinnin jälkeinen käsittely
Jos tasaisuuspoikkeama havaitaan (kuten > ±1 μm/m), ammattitaitoisen teknikon on hiottava ja korjattava se W1.5-mikrojauheella. Itsehionta hiekkapaperilla on ehdottomasti kielletty.
Kalibroinnin jälkeen tiedot tulee tallentaa ja arkistoida, ja alustan tarkkuuden vaimennuskäyrä tulee laatia huoltotarpeiden ennustamiseksi etukäteen.
4. Varastointi ja kuljetus: Vältä piilevää tarkkuushäviötä
Pitkäaikaissäilytyksen keskeiset kohdat
Varastoinnin aikana se tulee peittää kosteudelta ja pölyltä suojatulla suojalla. Pohja tulee tukea kolmesta pisteestä (tukipiste sijaitsee 2/9:ssä lavan pituudesta) painovoiman aiheuttaman taivutuksen ja muodonmuutoksen estämiseksi (1 metrin lava voi painua 0,3 μm pitkäaikaisen yhden pisteen tuen vuoksi).
Siirrä lavan tukipisteiden asentoa säännöllisesti (kuukausittain) pitkäaikaisen paikallisen paineen välttämiseksi.
Liikenteen suojaussuunnitelma
Lyhyt kuljetusmatka: Kääri iskuja vaimentavalla vaahtomuovilla, kiinnitä jäykään runkoon ja pidä kiihtyvyys 2 g:n sisällä.
Pitkän matkan kuljetus: Se on pakattava tyhjiöpakkaukseen ja täytettävä kuivalla typellä. Saapumisen jälkeen sen tulee antaa seistä 24 tuntia, kunnes lämpötila saavuttaa tasapainon, ennen pakkauksesta purkamista, jotta kondenssivesi ei vaikuta tarkkuuteen.
5. Vian ennustaminen: Tekniikoita ongelmien tunnistamiseksi varhaisissa vaiheissa
Silmämääräinen tarkastus: Tarkkaile pintaa säännöllisesti 40-kertaisella suurennuslasilla. Jos havaitset jatkuvia naarmuja tai merkittävää kiillon heikkenemistä, se voi viitata tarkkuuden heikkenemiseen.
Äänen tunnistus: Kopauta alustaa kevyesti. Jos ääni käheytyy (normaalisti sen pitäisi olla selkeä ääni), sisällä saattaa olla mikrohalkeamia. Lopeta käyttö välittömästi tunnistuksen ajaksi.
Tämän huoltojärjestelmän ansiosta ZHHIMG®-graniittialusta voi säilyttää ±1 μm/m tasaisuuden 10 vuoden ajan, mikä on yli kolme kertaa pidempi kuin asianmukaisesti huollettujen alustojen tarkkuusikä. Käytäntö on osoittanut, että tietyn puolijohdetehtaan otettua tämän ratkaisun käyttöön alustan kalibrointitiheys väheni 50 % ja vuosittaisissa huoltokustannuksissa säästettiin yli 150 000 yuania.
Julkaisun aika: 18. kesäkuuta 2025