Voisiko keraaminen suorakulma olla puuttuva lenkki mikronin tarkastusprosessissasi?

Tarkkuusvalmistuksen maailmassa – jossa toleranssit kutistuvat alle 5 mikronin ja pintakäsittelyt lähestyvät optista laatua – työkalujen, joihin luotamme, on kehityttävä perinteiden ulkopuolelle. Vuosikymmenten ajan teräs ja graniitti hallitsivat mittausalaa. Mutta kun teollisuudenalat, kuten puolijohdelaitteet, ilmailu- ja avaruusoptiikka sekä lääketieteelliset mikrolaitteet, siirtyvät aloille, joilla jopa lämpötilan ajelehtiminen tai mikroskooppinen kuluminen aiheuttavat hyväksymättömiä virheitä, on syntymässä uudenlainen referenssityökalujen luokka: työkalut, jotka on valmistettu metallista tai kivestä, vaan edistyneestä teknisestä keramiikasta.

ZHHIMG:llä olemme menneet pelkän tarjoamisen ulkopuolelleKeraaminen suora viivaintai keraamisia neliöviivaimia. Määrittelemme uudelleen, mitä suora reuna voi olla – yhdistämällä erittäin vakaat keraamiset materiaalit huippuluokan muotoiluun, mukaan lukien uraauurtavan Custom Ceramic -ilmakelluvan viivoittimemme, ratkaisun, joka poistaa mekaanisen kosketuksen kokonaan ja tarjoaa samalla nanometritason toistettavuuden.

Miksi keramiikka? Vastaus alkaa molekyylitasolta. Toisin kuin teräs – joka laajenee merkittävästi lämpötilan mukana – tai graniitti – joka stabiilisuudestaan ​​huolimatta pysyy huokoisena ja heterogeenisenä – suunnitellut keramiikat, kuten zirkoniumoksidilla karkaistu alumiinioksidi (ZTA) ja piinitridi, tarjoavat lähes olemattoman huokoisuuden, poikkeuksellisen kovuuden (1400–1800 HV) ja lämpölaajenemiskertoimet niinkin alhaiset kuin 3–4 µm/m·°C. Tämä tarkoittaa, että ZHHIMG:n keraaminen oikohöylä säilyttää geometriansa lämpötilanvaihteluista huolimatta, jotka vääristäisivät perinteisiä työkaluja useita mikroneja.

Pelkkä materiaali ei kuitenkaan riitä. Keraamiset viivoittimemme erottuvat muista todella tarkasti niiden valmistuksen tarkkuuden ansiosta. Timanttihionnan, aukon alittavan kiillotuksen ja laserinterferometrisen validoinnin avulla ISO-luokan 5 puhdastiloissa saavutamme suoruustoleranssit, jotka ovat parempia kuin 0,8 µm 500 mm:n matkalla – varmennettuna paitsi toimituksen yhteydessä, myös dokumentoituna täydellisissä kalibrointiraporteissa, jotka ovat jäljitettävissä NIST- ja PTB-standardeihin. Joka...Keraaminen neliönmuotoinen viivainläpikäy kohtisuoruustestin elektronisella autokollimaatiolla varmistaen, että kulmat pysyvät yhden kaarisekunnin sisällä (poikkeama ≈0,5 µm 100 mm:n matkalla).

Nämä eivät ole teoreettisia tietoja. Ne ovat toiminnallisia realiteetteja asiakkaille, jotka eivät enää voi tehdä kompromisseja. Johtava EUV-litografiakomponenttien toimittaja käyttää nyt keraamista suoraviivainta yksinomaan peilien tukikehysten kohdistamiseen. ”Teräsviivaimet vääntyivät pitkien valotusjaksojen aikana”, heidän päämetrologinsa kertoi meille. ”Graniitti keräsi hiukkasia. Keraaminen versio? Se on pysynyt vakaana 18 kuukautta – ei uudelleenkalibrointia tarvita.”

Silti jopa täydellinen geometria voi vaurioitua kosketuksen vuoksi. Viivoitinta vetämällä pintaa pitkin on olemassa mikronaarmujen, öljykalvon häiriintymisen tai elastisen muodonmuutoksen riski – erityisesti pehmeillä metalleilla tai kiillotetuilla optiikoilla. Tässä kohtaa ZHHIMG:n innovaatio on Custom Ceramic -kelluva viivain.

Tämä ei ole vain keraaminen viivoitin, johon on porattu reikiä. Se on täysin suunniteltu aerostaattinen järjestelmä, joka on suunniteltu laskennallisen nestedynamiikan avulla tuottamaan tasainen, laminaarinen ilmavirtaus viivaimen koko pituudelta. Kun viivain paineistetaan puhtaalla, kuivalla ilmalla (tai typellä herkissä ympäristöissä), se leijuu 5–10 mikronia työkappaleen yläpuolella – poistaen fyysisen kosketuksen ja säilyttäen samalla täydellisen kohdistuksen. Tulos? Aidosti kosketukseton mittaus tasaisuuden, suoruuden tai askelkorkeuden varmentamiseen, toistetarkkuus jopa ±0,2 µm.

Eräässä sveitsiläisessä kvanttilaskentalaboratoriossa käytetään nyt 600 mm:n mittaista Custom Ceramic -ilmaviivoitinta suprajohtavien sirujen tarkastamiseen. ”Mikä tahansa kosketus – jopa pehmeällä kynällä – aiheuttaa rasitusta, joka muuttaa kubitin suorituskykyä”, heidän prosessi-insinöörinsä selitti. ”Ilmaviivoitin antaa meille tarvitsemamme referenssin koskematta osaan. Siitä on tullut kriittisen tärkeää.”

tarkat mittauslaitteet

Tämän mahdollistaa ZHHIMG:n ainutlaatuinen materiaalitieteen, tarkkuuskoneistuksen ja metrologian asiantuntemuksen integrointi. Vaikka monet toimittajat käsittelevät keramiikkaa rakenneosina, me optimoimme sen mittausartefakteina. Keraamisissa neliöviivaimissamme on viistetyt reunat lohkeamisen estämiseksi, mattapintaiset takaosat häikäisyn vähentämiseksi tarkastusvalaistuksen aikana ja valinnaiset vertailumerkit automaattisia konenäköjärjestelmiä varten. Puhdastilasovelluksia varten pinnat kiillotetaan Ra < 0,02 µm:iin hiukkasten tarttumisen minimoimiseksi.

Ja koska jokainen sovellus on erilainen, emme usko yhden koon ratkaisuihin. Tarvitsetko keraamisen suorakulmaisen reunan, jossa on upotetut tyhjiökanavat ohuiden kiekkojen pitämiseen tarkastuksen aikana? Olemme rakentaneet sellaisen. Tarvitsetkoneliöviivainläpivientireiät kohdistettuna CMM-mittapään kärkeen? Valmis. Haluatko räätälöidyn keraamisen ilmakelluvan viivaimen, jossa on integroidut paineanturit ja digitaalinen vaaituspalaute? Se on jo beta-testauksessa Tier-1-ilmailualan asiakkaan kanssa.

Alan tunnustusta on seurannut. Vuoden 2025 Global Advanced Metrology Review -raportissa ZHHIMG mainittiin ainoana yrityksenä, joka tarjoaa täydellisen valikoiman sertifioituja keraamisia referenssityökaluja – mukaan lukien kelluvat variantit – täydellisellä geometrisella validoinnilla ja digitaalisella jäljitettävyydellä. Mutta mikä tärkeämpää, käyttöönotto kiihtyy: yli 60 % keraamisten viivaintilauksistamme tulee nyt toimialoilta, jotka aiemmin pitivät tällaisia ​​työkaluja "ylilyönteisinä" – kunnes he mittasivat eron.

Neuraalisia implantteja valmistava lääkinnällisiä laitteita valmistava startup-yritys vaihtoi teräksestä keraamiseen neliöviivaimeemme ja huomasi, että heidän ensimmäisellä kierroksella tuottamansa tuotto nousi 22 %. ”Vanha neliö jätti mikrokouruja titaanikoteloihin”, heidän laadunvarmistuspäällikkönsä sanoi. ”Emme edes tajunneet sitä ennen kuin vaihdoimme. Nyt jokainen osa läpäisee visuaaliset ja mittatarkastukset ensimmäisellä yrittämällä.”

Kun arvioit seuraavaa mittausjärjestelmän päivitystäsi, kysy itseltäsi: Lisääkö nykyinen suorakulmani epävarmuutta vai poistaako se sen kokonaan?

Jos prosessisi toimii havaitsemisen rajamailla, vastaus saattaa löytyä keramiikasta – ei uutuutena, vaan välttämättömyytenä. ZHHIMG:llä emme valmista vain keraamisia suoria viivoittimia, keraamisia neliöviivoittimia tai keraamisia suoria työkaluja. Suunnittelemme luottamusta jokaiseen mikroniin.


Julkaisuaika: 31.12.2025