Tarkkuusvallankumous puolijohdevalmistuksessa: Kun graniitti kohtaa mikroniteknologian
1.1 Odottamattomia löytöjä materiaalitieteessä
Vuoden 2023 SEMI International Semiconductor Associationin raportin mukaan 63 % maailman edistyneistä tehtaista on alkanut käyttää graniittialustoja perinteisten metallialustojen sijaan. Tämä luonnonkivi, joka on peräisin maan syvyyksistä tiivistyneestä magmasta, kirjoittaa puolijohdevalmistuksen historiaa uudelleen ainutlaatuisten fysikaalisten ominaisuuksiensa ansiosta:
Lämpöinertian etu: Graniitin 4,5 × 10⁻⁶/℃ lämpölaajenemiskerroin on vain 1/5 ruostumattoman teräksen vastaavasta, ja litografiakoneen jatkuvassa käytössä säilyy mittapysyvyys ±0,001 mm.
Tärinänvaimennusominaisuudet: sisäinen kitkakerroin on 15 kertaa suurempi kuin valuraudalla, mikä vaimentaa tehokkaasti laitteiden mikrovärähtelyjä
Nolla magnetisoitumista: poistaa magneettisen virheen kokonaan lasermittauksessa
1.2 Metamorfoosin matka kaivoksesta tehtaaksi
Esimerkkinä ZHHIMG:n älykäs tuotantokeskus Shandongissa: raakagraniittikappaleen on käytävä läpi:
Erittäin tarkka työstö: viisiakselinen niveltyöstökeskus 200 tunnin jatkuvaan jyrsintään, pinnan karheus jopa Ra0.008μm
Keinotekoinen vanhentamiskäsittely: 48 tuntia luonnollista jännityksen vapautumista vakiolämpötilassa ja -kosteudessa olevassa työpajassa, mikä parantaa tuotteen vakautta 40 %
Toiseksi, ratkaise puolijohdevalmistuksen kuusi tarkkuusongelmaa "rock-ratkaisulla"
2.1 Kiekkojen pirstoutumisnopeuden vähentämisohjelma
Case-esittely: Saksalaisen sirutehtaan otettua käyttöön kaasulla kelluvan graniittialustamme:
| Kiekon halkaisija | sirunopeuden alentaminen | tasaisuuden parantaminen |
| 12 tuumaa | 67 % | ≤0,001 mm |
| 18 tuumaa | 82 % | ≤0,0005 mm |
2.2 Litografisen kohdistuksen tarkkuuden läpimurtokaavio
Lämpötilan kompensointijärjestelmä: upotettu keraaminen anturi valvoo muotomuuttujaa reaaliajassa ja säätää automaattisesti alustan kaltevuutta
Mitatut tiedot: 28 ℃ ± 5 ℃:n lämpötilan vaihtelun aikana upotustarkkuus vaihtelee alle 0,12 μm
Julkaisun aika: 24.3.2025