Tarkkuusvalmistuksen ja tieteellisen tutkimuksen aloilla graniittisten tarkkuusalustojen tasaisuus on keskeinen mittari laitteiden tarkkuuden varmistamiseksi. Seuraavassa on yksityiskohtainen johdatus useisiin yleisiin havaitsemismenetelmiin ja niiden toimintatapoihin.
I. Laserinterferometrin havaitsemismenetelmä
Laserinterferometri on ensisijainen työkalu tarkkaan tasaisuuden havaitsemiseen. Esimerkiksi ZYGO GPI XP -laserinterferometrin resoluutio voi olla jopa 0,1 nm. Havaitsemista suoritettaessa kohdista ensin interferometrin valonlähde alustaan ja jaa alustan pinta 50 mm × 50 mm:n ruudukkoalueisiin. Tämän jälkeen interferenssireunustiedot kerättiin piste pisteeltä, ja tiedot sovitettiin ja analysoitiin Zernike-polynomilla tasaisuusvirheen määrittämiseksi. Tätä menetelmää voidaan soveltaa erittäin tarkkoihin alustoihin, ja sillä voidaan havaita ≤0,5 μm/m²:n tasaisuusvirheet. Sitä käytetään yleisesti fotolitografiakoneiden ja huippuluokan kolmikoordinaattimittauskoneiden alustojen havaitsemisessa.
Ii. Elektroninen vatupassijärjestelmämenetelmä
Elektroninen vatupassin matriisin tunnistus on helppokäyttöinen ja erittäin tehokas. TESA A2 -elektroninen vatupassi (jonka resoluutio on 0,01 μm/m) valittiin ja järjestettiin 9×9-matriisiksi alustan X/Y-akselin suunnassa. Keräämällä synkronoidusti kunkin tason kaltevuustiedot ja käyttämällä sitten pienimmän neliösumman menetelmää laskemiseen, tasaisuusarvo voidaan saada tarkasti. Tämä menetelmä pystyy tehokkaasti tunnistamaan alustan paikalliset koveruus- ja kuperaisuusolosuhteet. Esimerkiksi 0,2 μm:n vaihtelu 50 mm:n alueella voidaan havaita, mikä soveltuu nopeaan havaitsemiseen massatuotannossa.
Iii. Optinen tasokiteinen menetelmä
Optinen tasokidemenetelmä soveltuu pienten alustojen havaitsemiseen. Kiinnitä optinen tasokide tiukasti alustan testattavaan pintaan ja tarkkaile niiden väliin muodostuvia interferenssireunoja monokromaattisen valonlähteen (kuten natriumlampun) valossa. Jos raidat ovat yhdensuuntaisia suoria raitoja, se osoittaa hyvää tasaisuutta. Jos näkyviin tulee kaarevia raitoja, laske tasaisuusvirhe raidan kaarevuusasteen perusteella. Jokainen kaareva raita edustaa 0,316 μm:n korkeuseroa, ja tasaisuustiedot voidaan saada yksinkertaisella muunnoksella.
Neljä. Kolmikoordinaattimittauskoneen tarkastusmenetelmä
Kolmikoordinaattinen mittauskone pystyy saavuttamaan tarkkoja mittauksia kolmiulotteisessa tilassa. Aseta graniittialusta mittauskoneen työpöydälle ja kerää anturilla tasaisesti tietoja useista mittauspisteistä alustan pinnalla. Mittauskonejärjestelmä käsittelee ja analysoi nämä tiedot ja luo alustan tasaisuusraportin. Tämä menetelmä ei ainoastaan havaitse tasaisuutta, vaan myös saa samanaikaisesti muita alustan geometrisia parametreja, ja se soveltuu suurten graniittialustojen kattavaan havaitsemiseen.
Näiden havaitsemismenetelmien hallinta voi auttaa sinua arvioimaan tarkasti graniittisen tarkkuusalustan tasaisuuden ja tarjoamaan luotettavan takuun tarkkuuslaitteiden vakaalle toiminnalle.
Julkaisun aika: 29.5.2025