Huippuluokan valmistuksen ja huipputieteellisen tutkimuksen alalla ilmakellun erittäin tarkka liikemoduuli on erinomaisen tarkkuussuorituskykynsä ansiosta tullut keskeiseksi laitteeksi hienosäätöön ja mittaukseen. Graniittitarkkuusjalustalla tukiytimenä on tiukat vaatimukset työympäristölle, ja sopivat ympäristöolosuhteet ovat perusta sen vakaan suorituskyvyn ja parhaan mahdollisen vaikutuksen varmistamiseksi.
Ensinnäkin lämpötilan säätö: tarkka "vakauttaja"
Vaikka graniitti tunnetaan stabiilisuudestaan, se ei ole täysin immuuni lämpötilan muutoksille. Vaikka sen lämpölaajenemiskerroin on alhainen, yleensä 5-7 × 10⁻⁶/℃, erittäin tarkassa liikkeenohjauksessa pienet lämpötilan vaihtelut voivat silti aiheuttaa mittamuutoksia ja vaikuttaa moduulin tarkkuuteen. Puolijohdesirujen valmistuspajassa litografiaprosessi vaatii danami-tason paikannustarkkuuden, ja ympäristön lämpötila vaihtelee 1 °C:n verran, ja yhden metrin sivupituinen graniittipohja voi tuottaa 5-7 mikronin lineaarisen laajenemisen tai supistumisen. Tämä pieni muutos välittyy ilmakelalaitteen erittäin tarkan liikemoduulin kautta, mikä riittää aiheuttamaan sirun litografiakuvion poikkeaman ja vähentämään saantoa huomattavasti. Siksi ilmassa kelluvan erittäin tarkan liikemoduulin graniittitarkkuusjalustalla varustetun ihanteellisen työympäristön lämpötilan tulisi olla 20 °C ± 1 °C. Käytä korkean tarkkuuden vakiolämpötilalaitteita, kuten vakiolämpötilan ja kosteuden ilmastointijärjestelmää, ympäristön lämpötilan jatkuvaa seurantaa ja säätöä, jotta lämpötilan vaihtelut hyvin pienellä alueella säilyvät ja pohjan koko pysyy vakaana, mikä varmistaa moduulin tarkan toiminnan.
Toiseksi, kosteudenhallinta: avain kosteudenkestävään "kivi"-suojaan
Kosteus on toinen tärkeä tekijä, joka vaikuttaa tarkkuusgraniittijalustan suorituskykyyn. Korkeassa kosteudessa graniitti imee helposti vesihöyryä, mikä voi johtaa pinnan tiivistymiseen. Tämä ei ainoastaan vaikuta graniitin ja ilmakellun erittäin tarkan liikemoduulin välisen liitoksen vakauteen, vaan voi myös aiheuttaa pinnan eroosiota ja vähentää kiiltoa ja tarkkuutta pitkällä aikavälillä. Optisten linssien hiontapajassa, jos kosteus on pitkään yli 60 % suhteellinen kosteus, graniittijalustan pinnalle adsorboitunut vesihöyry häiritsee kaasukellun liukusäätimen liikettä, jolloin linssin hiontatarkkuus heikkenee ja pintaan tulee virheitä. Siksi työympäristön suhteellista kosteutta tulisi valvoa tarkasti 40–60 %:n välillä, ja sitä voidaan seurata ja säätää reaaliajassa asentamalla ilmankuivaimia, kosteusantureita ja muita laitteita, jotta vältetään graniittijalustan vaurioituminen korkean kosteuden vuoksi ja varmistetaan ilmakellun erittäin tarkan liikemoduulin sujuva toiminta.
Kolmanneksi, puhtaustakuu: tarkkuuden "vartija"
Pölyhiukkasten aiheuttamia haittoja ilmaflotaation erittäin tarkan liikemoduulin tarkkuusgraniittialustalle ei voida aliarvioida. Kun pienet hiukkaset pääsevät kaasukalvon rakoon kaasukellukkeen liukusäätimen ja graniittialustan väliin, ne voivat rikkoa kaasukalvon tasaisuuden, lisätä kitkaa ja jopa naarmuttaa alustan pintaa, mikä johtaa liiketarkkuuden heikkenemiseen. Ilmailu- ja avaruusteollisuuden osien erittäin tarkassa koneistustyöpajassa, jos ilmassa olevat pölyhiukkaset putoavat graniittialustalle, työstötyökalun liikerata voi poiketa, mikä vaikuttaa osien koneistustarkkuuteen. Siksi työalue on pidettävä erittäin puhtaana, saavuttaen 10 000 tai jopa korkeamman puhtaustason, asentamalla ilmanpuhdistuslaitteita, kuten tehokkaita ilmansuodattimia (HEPA), jotka suodattavat ilmassa olevat pölyhiukkaset. Samanaikaisesti henkilökunnan on käytettävä pölyttömiä vaatteita, kengänsuojuksia jne. ihmisten tuoman pölyn vähentämiseksi. Ylläpidä graniittialustan ja ilmakellukkeen erittäin tarkan liikemoduulin tarkkaa käyttöympäristöä.
Neljä, tärinäneristys: "iskunvaimennustyynyn" sujuva toiminta
Ulkoinen tärinä on ilmakellukkeen ultratarkan liikemoduulin tarkkuuden vihollinen. Vaikka tarkkuusgraniittijalustalla on tietty tärinänvaimennuskyky, voimakas tärinä voi silti rikkoa puskurirajansa. Tehtaan ympärillä olevan liikenteen ja suurten mekaanisten laitteiden toiminnan aiheuttama tärinä välittyy graniittijalustaan maan kautta, mikä häiritsee ilmakellukkeen ultratarkan liikemoduulin liiketarkkuutta. Huippuluokan koordinaattimittauskoneissa tärinä voi aiheuttaa mittausanturin ja mitattavan työkappaleen välisen kosketuksen epävakauden, mikä johtaa mittaustietojen poikkeamaan. Tämän ongelman ratkaisemiseksi on tarpeen ottaa käyttöön tehokkaita tärinänvaimennustoimenpiteitä, kuten tärinänvaimennustyynyjen asentaminen laitteen asennusalueelle, tärinänvaimennusperustuksen rakentaminen tai aktiivisen tärinänvaimennusjärjestelmän käyttö ulkoisen tärinän aktiiviseksi kompensoimiseksi ja luoda hiljainen ja vakaa työympäristö graniittitarkkuusjalustalle ja ilmakellukkeen ultratarkalle liikemoduulille.
Vain täyttämällä täysin lämpötilan, kosteuden, puhtauden ja tärinänhallinnan ympäristövaatimukset ilmakellun erittäin tarkan liikemoduulin graniittinen tarkkuusjalusta voi antaa täyden hyödyn suorituskykyeduistaan, tarjota luotettavan takuun erittäin tarkoille toimille eri aloilla ja auttaa teollisuutta siirtymään kohti korkeampaa tarkkuuden valmistus- ja tieteellisen tutkimuksen tasoa.
Julkaisun aika: 8.4.2025