Puolijohdevalmistuksessa fotolitografiakone on keskeinen laite, joka määrittää sirujen tarkkuuden, ja graniittipohjasta on useiden ominaisuuksiensa ansiosta tullut fotolitografiakoneen välttämätön osa.
Lämpöstabiilius: "Suoja" lämpötilan muutoksia vastaan
Fotolitografiakoneen toiminnassa syntyy paljon lämpöä. Jopa 0,1 ℃:n lämpötilanvaihtelu voi aiheuttaa laitteen osien muodonmuutoksia ja vaikuttaa fotolitografian tarkkuuteen. Graniitin lämpölaajenemiskerroin on erittäin alhainen, vain 4–8 × 10⁻⁶/℃, mikä on noin 1/3 teräksen ja 1/5 alumiiniseoksen lämpölaajenemiskertoimesta. Tämä mahdollistaa graniittipohjan mittapysyvyyden säilyttämisen fotolitografiakoneen pitkäaikaisen käytön tai ympäristön lämpötilan muuttuessa, mikä varmistaa optisten komponenttien ja mekaanisten rakenteiden tarkan sijoittelun.
Super tärinänvaimennus: "Sieni", joka imee tärinää
Puolijohdetehtaassa ympäröivien laitteiden toiminta ja ihmisten liikkuminen voivat kaikki aiheuttaa tärinää. Graniitilla on suuri tiheys ja kova rakenne, ja sillä on erinomaiset vaimennusominaisuudet, joiden vaimennussuhde on 2–5 kertaa metallien vaimennussuhde. Kun ulkoisia värähtelyjä välittyy graniittipohjaan, sisäisten mineraalikiteiden välinen kitka muuntaa värähtelyenergian lämpöenergiaksi, joka haihtuu, mikä voi vähentää tärinää merkittävästi lyhyessä ajassa, jolloin fotolitografialaite voi palauttaa nopeasti vakauden ja välttää fotolitografiakuvion epäterävyyden tai virheasennon tärinän vuoksi.
Kemiallinen stabiilius: Puhtaan ympäristön "vartija"
Fotolitografialaitteen sisäosa on kosketuksissa erilaisten kemiallisten väliaineiden kanssa, ja tavalliset metallimateriaalit ovat alttiita korroosiolle tai hiukkasten vapautumiselle. Graniitti koostuu mineraaleista, kuten kvartsista ja maasälvästä. Sillä on vakaat kemialliset ominaisuudet ja vahva korroosionkestävyys. Happo- ja emäsliuoksissa liotuksen jälkeen pinnan korroosio on erittäin vähäistä. Samaan aikaan sen tiheä rakenne ei tuota juurikaan roskia tai pölyä, mikä täyttää korkeimmat puhdastilastandardit ja vähentää kiekkojen kontaminaatioriskiä.
Prosessoinnin sopeutumiskyky: "Ihanteellinen materiaali" tarkkojen vertailuarvojen luomiseen
Fotolitografiakoneen ydinosat on asennettava erittäin tarkalle vertailupinnalle. Graniitin sisäinen rakenne on tasainen ja sitä on helppo työstää erittäin tarkasti hiomalla, kiillottamalla ja muilla tekniikoilla. Sen tasaisuus voi olla ≤0,5 μm/m ja pinnan karheus Ra on ≤0,05 μm, mikä tarjoaa tarkan asennuspohjan komponenteille, kuten optisille linsseille.
Pitkä käyttöikä ja huoltovapaa: "Terävät työkalut" kustannusten alentamiseen
Verrattuna metallimateriaaleihin, jotka ovat alttiita väsymiselle ja halkeilulle pitkäaikaisessa käytössä, graniitti tuskin käy läpi plastista muodonmuutosta tai murtumista normaalikuormituksessa, eikä se vaadi pintakäsittelyä, mikä estää pinnoitteen hilseilyn ja kontaminaation riskin. Käytännön sovelluksissa graniittipohjan keskeiset suorituskykyindikaattorit voivat pysyä vakaina monien vuosien käytön jälkeen, mikä vähentää laitteiden käyttö- ja ylläpitokustannuksia.
Lämmönkestävyydestä tärinänkestävyyteen ja kemialliseen inertiaan, graniittipohjan useat ominaisuudet täyttävät täydellisesti fotolitografiakoneen vaatimukset. Koska sirujen valmistusprosessi kehittyy edelleen kohti suurempaa tarkkuutta, graniittipohjat tulevat jatkossakin olemaan korvaamaton rooli puolijohdevalmistuksen alalla.
Julkaisun aika: 20.5.2025