Puolijohdevalmistustyöpajassa sirujen valmistusprosessin vaatimukset ympäristöolosuhteille ja laitteiden tarkkuudelle ovat äärimmäiset, ja pieninkin poikkeama voi johtaa sirun saannon merkittävään laskuun. XYZT-tarkkuusportaalin liikkumisalusta perustuu graniittikomponentteihin, jotka toimivat yhteistyössä alustan muiden osien kanssa rakentaen vankan perustan nanoskaalan tarkkuuden saavuttamiseksi.
Erinomaiset tärinänvaimennusominaisuudet
Puolijohdevalmistustyöpajassa oheislaitteiden toiminta ja henkilöstön liikkuminen voivat aiheuttaa tärinää. Graniittikomponenttien sisäinen rakenne on tiivis ja tasainen, ja sillä on luonnostaan korkeat vaimennusominaisuudet, kuten tehokas tärinä"este". Kun ulkoinen tärinä välittyy XYZT-alustalle, graniittikomponentti voi tehokkaasti vaimentaa yli 80 % tärinäenergiasta ja vähentää tärinän häiriöitä alustan liikkeen tarkkuuteen. Samalla alusta on varustettu erittäin tarkalla ilmakellukeohjauksella, joka toimii yhdessä graniittikomponenttien kanssa. Ilmakellukeohjain käyttää korkeapainekaasun muodostamaa vakaata kaasukalvoa alustan liikkuvien osien kosketuksettoman jousitusliikkeen toteuttamiseen ja mekaanisen kitkan aiheuttaman pienen tärinän vähentämiseen. Yhdessä nämä kaksi varmistavat, että alustan paikannustarkkuus säilyy aina nanometritasolla keskeisissä prosesseissa, kuten sirulitografiassa ja etsauksessa, ja välttävät tärinän aiheuttamat sirupiirikuvioiden poikkeamat.
Erinomainen terminen stabiilius
Työpajan lämpötilan ja kosteuden vaihteluilla on suuri vaikutus sirujenvalmistuslaitteiden tarkkuuteen. Graniitin lämpölaajenemiskerroin on hyvin alhainen, yleensä 5-7 × 10⁻⁶/℃, ja koko pysyy lähes muuttumattomana lämpötilan muuttuessa. Vaikka työpajan päivän ja yön välinen lämpötilaero tai laitteiden lämmöntuotanto aiheuttaisi ympäristön lämpötilan vaihtelua, graniittikomponentit pysyvät vakaina estäen alustan muodonmuutoksen lämpölaajenemisen ja supistumisen vuoksi. Samanaikaisesti alustan älykäs lämpötilansäätöjärjestelmä valvoo ympäristön lämpötilaa reaaliajassa, säätää automaattisesti ilmastointi- ja lämmönpoistolaitteita ja pitää työpajan lämpötilan 20 °C ± 1 °C:ssa. Yhdessä graniitin lämmönvakauden etujen kanssa varmistetaan, että alustan pitkäaikaisessa käytössä jokaisen akselin liiketarkkuus täyttää aina sirujenvalmistuksen nanometritarkkuusstandardit, jotta sirulitografiakuvion koko on tarkka ja etsaussyvyys tasainen.
Täytä puhtaan ympäristön tarpeet
Puolijohdevalmistustyöpajan on ylläpidettävä korkeaa puhtaustasoa estääkseen pölyhiukkasten pääsyn sirulle. Graniittimateriaali itsessään ei tuota pölyä, ja pinta on sileä eikä ime pölyä helposti. Alusta kokonaisuudessaan on täysin tai puoliksi suljettu rakenne, joka vähentää ulkoisen pölyn pääsyä sisään. Sisäinen ilmankiertojärjestelmä on yhdistetty työpajan puhdasilmastointijärjestelmään, jotta sisäilman puhtaus saavuttaa sirujen valmistuksen vaatiman tason. Tässä puhtaassa ympäristössä graniittikomponentit eivät vaikuta suorituskykyyn pölyeroosion vuoksi, ja alustan avainkomponentit, kuten erittäin tarkat anturit ja moottorit, voivat toimia vakaasti, mikä takaa jatkuvan ja luotettavan nanoskaalan tarkkuustakuun sirujen valmistuksessa ja auttaa puolijohdeteollisuutta siirtymään korkeammalle prosessitasolle.
Julkaisun aika: 14. huhtikuuta 2025