Puolijohdevalmistuksen alalla mikronin tarkkuus on avain sirun suorituskyvyn varmistamiseen, ja (ZHHIMG®)-graniittipohja materiaaliominaisuuksineen, tarkkoine prosesseineen ja innovatiivisine ratkaisuineen on muodostunut tämän tarkkuuden saavuttamisen keskeiseksi takeeksi.
Materiaaliominaisuuksien näkökulmasta ZHHIMG®:n valitseman mustan graniitin tiheys on noin 3100 kg/m³ ja sen sisäinen rakenne on tiivis. Tämä korkea tiheys antaa sille erinomaisen vakauden ja jäykkyyden. Puolijohdelaitteiden käytön aikana moottorien pyöriminen ja mekaanisten komponenttien liike laitteen sisällä aiheuttaa tärinää. Graniittipohja voi tehokkaasti absorboida yli 90 % tärinäenergiasta, mikä vähentää merkittävästi tärinän vaikutusta laitteen tarkkuuteen. Samaan aikaan sen erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin mahdollistaa sen, että se pitää muodonmuutoksensa hyvin pienellä alueella ympäristön lämpötilan vaihdellessa, mikä tarjoaa vakaan tukipohjan puolijohdelaitteille ja estää laitekomponenttien siirtymisen lämpötilan muutosten vuoksi, mikä voisi vaikuttaa tarkkuuteen.
ZHHIMG®-tehdas käyttää kansainvälisiä edistyneitä prosessointilaitteita ja sillä on neljä erittäin suurta hiomakonetta (jokaisen koneen hinta on yli 500 000 dollaria), jotka pystyvät hiomaan graniittia erittäin tarkasti. Viisiakselisen CNC-koneistuksen ja muiden prosessien avulla koneen alustan tasaisuus voi saavuttaa nanometritason, mikä tarjoaa erittäin tasaisen vertailupinnan puolijohdelaitteiden asennukselle ja varmistaa laitteen jokaisen komponentin tarkan sijoittelun. Lisäksi vakiolämpötilassa ja kosteudessa toimiva työpaja (jonka pinta-ala on 10 000 neliömetriä) tarjoaa vakaan ympäristön prosessoinnille. Sitä ympäröivät 500 mm leveät ja 2000 mm syvät tärinänvaimennuskaivokset sekä hiljaiset nosturit eristävät tehokkaasti ulkoiset tärinähäiriöt ja varmistavat koneen alustan prosessointitarkkuuden.
Lisäksi ZHHIMG®-laitteella on vahvat räätälöintimahdollisuudet. Puolijohdelaitteiden erityisvaatimuksia varten voidaan valmistaa tarkat asennusreiät ja kaapelikourut valmiiksi, mikä takaa täydellisen yhteensopivuuden laitteen ja alustan välillä. Samalla konealusta tarkastetaan ja kalibroidaan tarkasti yhdessä maailmanluokan mittaus- ja testauslaitteiden, kuten saksalaisen Mahrin minuuttimittarin (tarkkuus 0,5 μm) ja sveitsiläisen WYLER-elektronisen vesivaa'an, kanssa sen varmistamiseksi, että jokainen konealusta täyttää puolijohdelaitteiden tiukat vaatimukset alle mikronin tarkkuudelle.
Juuri näiden etujen yhdistelmä tekee ZHHIMG®-graniittipohjasta luotettavan valinnan puolijohdelaitteissa mikronia pienemmän tarkkuuden saavuttamiseksi ja auttaa puolijohdevalmistusta siirtymään kohti tarkempia kenttiä.
Julkaisun aika: 18. kesäkuuta 2025