Graniittipohjan käyttö: Graniitilla on erittäin vakaat fyysiset ominaisuudet, tiivis ja tasainen sisäinen rakenne, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja korkea kovuus. Tämän ansiosta pohja eristää tehokkaasti ulkoisen tärinän, vähentää ympäristön lämpötilan muutosten vaikutusta alustan tarkkuuteen ja sillä on hyvä kulutuskestävyys. Pitkäaikainen käyttö voi myös ylläpitää vakaata tukirakennetta, mikä tarjoaa vankan perustan alustan tarkkuudelle.
Tarkka mekaaninen rakennesuunnittelu: Alustan mekaaninen rakenne on huolellisesti suunniteltu ja optimoitu käyttämällä tarkkoja ohjauskiskoja, johtoruuveja, laakereita ja muita voimansiirtokomponentteja. Alhaisen kitkan, suuren jäykkyyden ja hyvän liikkeen toistettavuuden ansiosta nämä komponentit voivat siirtää tehoa tarkasti ja ohjata alustan liikettä, mikä vähentää virheiden kertymistä liikkeen aikana. Esimerkiksi aerostaattisen ohjauskiskon käyttö ja ilmakalvon käyttö alustan liikkeen tukemiseksi ilman kitkaa, kulumista ja suurta tarkkuutta voivat saavuttaa nanomittakaavan paikannustarkkuuden.
Edistyksellinen aktiivinen tärinänvaimennustekniikka: Aktiivisella tärinänvaimennusjärjestelmällä varustettu laite valvoo alustan tärinätilaa reaaliajassa anturin avulla ja ohjaa sitten toimilaitetta takaisinkytkennällä valvontatulosten perusteella, jolloin syntyy vastakkainen voima tai liike ulkoista tärinää vastaan tärinän vaikutuksen kompensoimiseksi. Tämä aktiivinen tärinänvaimennustekniikka pystyy tehokkaasti eristämään matala- ja korkeataajuisen tärinän, jotta alusta pysyy vakaana monimutkaisessa tärinäympäristössä. Esimerkiksi sähkömagneettisella aktiivisella tärinänvaimentimella on etuna nopea vasteaika ja tarkka ohjausvoima, jotka voivat vähentää alustan tärinän amplitudia yli 80 %.
Tarkkuusohjausjärjestelmä: Alusta käyttää edistynyttä ohjausjärjestelmää, kuten digitaaliseen signaaliprosessoriin (DSP) tai kenttäohjelmoitavaan porttimatriisiin (FPGA) perustuvaa ohjausjärjestelmää, jolla on kyky nopeaan laskentaan ja tarkkaan ohjaukseen. Ohjausjärjestelmä valvoo ja säätää alustan liikettä reaaliajassa tarkkojen algoritmien avulla ja toteuttaa erittäin tarkan paikansäädön, nopeudensäädön ja kiihtyvyyden säädön. Samalla ohjausjärjestelmällä on myös hyvä häiriönsietokyky ja se voi toimia vakaasti monimutkaisessa sähkömagneettisessa ympäristössä.
Tarkat anturimittaukset: Tarkkojen siirtymäantureiden, kulma-antureiden ja muiden mittauslaitteiden avulla voidaan mitata alustan liikettä reaaliajassa ja tarkasti. Nämä anturit syöttävät mittaustiedot takaisin ohjausjärjestelmään, ja ohjausjärjestelmä tekee tarkkoja säätöjä ja kompensointeja takaisinkytkentätietojen perusteella alustan liikkeen tarkkuuden varmistamiseksi. Esimerkiksi laserinterferometriä käytetään siirtymäanturina, ja sen mittaustarkkuus voi olla jopa nanometriä, mikä voi tarjota tarkkoja sijaintitietoja alustan tarkkaa ohjausta varten.
Virheenkompensointitekniikka: Mallintamalla ja analysoimalla alustan virheitä, virheenkompensointitekniikkaa käytetään virheiden korjaamiseen. Esimerkiksi ohjauskiskon suoruusvirhe ja johtoruuvin nousuvirhe mitataan ja kompensoidaan alustan liiketarkkuuden parantamiseksi. Lisäksi ohjelmistoalgoritmeja voidaan käyttää lämpötilamuutosten, kuormituksen muutosten ja muiden tekijöiden aiheuttamien virheiden kompensointiin reaaliajassa alustan tarkkuuden parantamiseksi entisestään.
Tiukka valmistusprosessi ja laadunvalvonta: Alustan valmistusprosessissa noudatetaan tiukkoja valmistusprosessi- ja laadunvalvontastandardeja, joilla varmistetaan jokaisen komponentin käsittelytarkkuus ja kokoonpanon laatu. Raaka-aineiden valinnasta osien käsittelyyn, kokoonpanoon ja käyttöönottoon jokainen lenkki tarkastetaan ja testataan tarkasti alustan kokonaistarkkuuden ja suorituskyvyn varmistamiseksi. Esimerkiksi tärkeimmät osat työstetään erittäin tarkasti, ja edistyneitä laitteita, kuten CNC-työstökeskuksia, käytetään varmistamaan, että osien mittatarkkuus sekä muoto- ja sijaintitoleranssit täyttävät suunnitteluvaatimukset.
Julkaisuaika: 11. huhtikuuta 2025