Graniitti on kova ja kestävä materiaali, jota käytetään usein rakennusteollisuudessa. Sillä on kuitenkin myös ominaisuuksia, jotka tekevät siitä hyödyllisen puolijohdevalmistuksessa, erityisesti integroitujen piirien valmistuksessa ja prosessoinnissa. Graniittikomponentteja, kuten graniittipöytiä ja -lohkoja, käytetään laajalti niiden vakauden, tasaisuuden ja alhaisen lämpölaajenemiskertoimen ansiosta.
Yksi graniittikomponenttien ensisijaisista käyttötarkoituksista puolijohdevalmistuksessa on valmistusprosessi. Piikiekot, integroitujen piirien peruspalikat, on valmistettava suurella tarkkuudella ja täsmällisyydellä. Kaikki prosessin aikana tapahtuvat vääristymät tai liikkeet voivat johtaa vikoihin, jotka voivat vaikuttaa integroitujen piirien laatuun ja toimivuuteen. Graniittipöydät tarjoavat hyvän alustan kiekkojen käsittelylaitteille niiden vakauden ja tasaisuuden ansiosta. Ne kestävät myös prosessin vaatiman lämmityksen ja jäähdytyksen aiheuttamaa lämpölaajenemista ja -supistumista.
Graniittilohkoja käytetään myös puolijohdeteollisuudessa niiden lämpöstabiilisuuden vuoksi. Etsaus- tai pinnoitusprosessien aikana kuumia kaasuja tai plasmoja käytetään piikiekon pinnan muokkaamiseen. Kiekon lämpötilaa on kontrolloitava, jotta prosessi suoritetaan tehokkaasti ja tarkasti. Graniittilohkot, joilla on alhainen lämpölaajenemiskerroin, auttavat vakauttamaan kiekon lämpötilaa, mikä vähentää lämpötilan vaihteluiden riskiä, jotka voisivat vaikuttaa prosessoidun materiaalin laatuun.
Valmistus- ja prosessointiprosessien lisäksi graniittikomponentteja käytetään myös puolijohdevalmistuksen metrologian ja tarkastuksen vaiheissa. Metrologisilla mittauksilla varmistetaan, että kiekon rakenteiden koko, muoto ja sijainti ovat vaadittujen spesifikaatioiden mukaisia. Graniittilohkoja käytetään näissä mittauksissa referenssistandardeina niiden mittapysyvyyden ja tarkkuuden vuoksi. Niitä käytetään myös tarkastusvaiheissa, joissa integroitujen piirien laatu tarkistetaan suurella suurennuksella.
Kaiken kaikkiaan graniittikomponenttien käyttö puolijohdevalmistuksessa on lisääntynyt viime vuosina. Integroitujen piirien valmistuksen ja prosessoinnin korkean tarkkuuden, täsmällisyyden ja vakauden tarve on vauhdittanut näiden materiaalien käyttöönottoa puolijohdevalmistajien keskuudessa. Graniitin ainutlaatuiset ominaisuudet, kuten sen kovuus, stabiilius ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, tekevät siitä erinomaisen vaihtoehdon näissä prosesseissa käytettäväksi. Puolijohdeteknologian jatkuvan kehityksen ja parantamisen myötä graniittikomponenttien käytön odotetaan kasvavan entisestään tulevaisuudessa.
Julkaisun aika: 05.12.2023