Graniitti on kova ja kestävä materiaali, jota käytetään usein rakennusteollisuudessa.Sillä on kuitenkin myös ominaisuuksia, jotka tekevät siitä hyödyllisen puolijohteiden valmistuksessa, erityisesti integroitujen piirien valmistuksessa ja käsittelyssä.Graniittikomponentteja, kuten graniittipöytiä ja graniittilohkoja, käytetään laajalti niiden vakauden, tasaisuuden ja alhaisen lämpölaajenemiskertoimen vuoksi.
Yksi graniittikomponenttien ensisijaisista käyttötavoista puolijohteiden valmistuksessa on valmistusprosessi.Piikiekot, integroitujen piirien perusrakennusosat, on valmistettava erittäin tarkasti ja tarkasti.Prosessin aikana tapahtuva vääristymä tai liike voi aiheuttaa vikoja, jotka voivat vaikuttaa integroitujen piirien laatuun ja toimivuuteen.Graniittipöydät tarjoavat korkean vakauden ja tasaisuuden ansiosta hyvän alustan kiekkojen käsittelylaitteistolle.Ne kestävät myös lämpölaajenemista ja -kutistumista, joka aiheutuu prosessissa vaaditusta kuumennuksesta ja jäähdytyksestä.
Graniittilohkoja käytetään myös puolijohdekäsittelyssä niiden lämpöstabiilisuuden vuoksi.Syövytys- tai saostusprosessien aikana piikiekon pinnan muokkaamiseen käytetään kuumia kaasuja tai plasmaa.Kiekon lämpötilaa on valvottava, jotta voidaan varmistaa, että prosessi suoritetaan tehokkaasti ja tarkasti.Graniittiharkot, joiden lämpölaajenemiskerroin on alhainen, auttavat stabiloimaan kiekon lämpötilaa, mikä vähentää lämpötilan vaihteluiden riskiä, jotka voivat vaikuttaa prosessoidun materiaalin laatuun.
Graniittikomponentteja käytetään valmistus- ja prosessointiprosessien lisäksi myös puolijohteiden valmistuksen metrologiassa ja tarkastusvaiheessa.Metrologisilla mittauksilla varmistetaan, että kiekon rakenteiden koko, muoto ja sijainti ovat vaadittujen määritysten sisällä.Graniittilohkoja käytetään näissä mittauksissa vertailustandardeina niiden mittavakauden ja tarkkuuden vuoksi.Niitä käytetään myös tarkastusvaiheissa, joissa integroitujen piirien laatu tarkistetaan suurella suurennuksella.
Kaiken kaikkiaan graniittikomponenttien käyttö puolijohteiden valmistuksessa on lisääntynyt viime vuosina.Suuren tarkkuuden, tarkkuuden ja vakauden tarve integroitujen piirien valmistuksessa ja käsittelyssä on saanut puolijohdevalmistajat omaksumaan nämä materiaalit.Graniitin ainutlaatuiset ominaisuudet, kuten sen kovuus, stabiilisuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, tekevät siitä erinomaisen valinnan käytettäväksi näissä prosesseissa.Puolijohdeteknologian jatkuvan kehittämisen ja parantamisen myötä graniittikomponenttien käytön odotetaan kasvavan edelleen tulevaisuudessa.
Postitusaika: 5.12.2023