Graniitti on kova ja kestävä materiaali, jota käytetään usein rakennusteollisuudessa. Sillä on kuitenkin myös ominaisuuksia, jotka tekevät siitä hyödyllisen puolijohdevalmistuksessa, etenkin integroiduiden piirien valmistuksessa ja käsittelyssä. Graniittikomponentteja, kuten graniittipöytiä ja graniittilohkoja, käytetään laajasti niiden stabiilisuuteen, tasaisuuteen ja alhaiseen lämpölaajennuskertoimeen.
Yksi graniittikomponenttien ensisijaisista käytöistä puolijohteiden valmistuksessa on valmistusprosessissa. Piihiekot, integroitujen piirien perusrakennuspalikat, on valmistettava erittäin tarkkuudella ja tarkkuudella. Mahdolliset vääristymät tai liikkuminen prosessin aikana voi johtaa virheisiin, jotka voivat vaikuttaa integroiduiden piirien laatuun ja toiminnallisuuteen. Graniittipöydät, joilla on korkea stabiilisuus ja tasaisuus, tarjoavat hyvän alustan kiekkojen prosessointilaitteille. Ne ovat myös kestäviä prosessissa vaadittujen lämmityksen ja jäähdytyksen aiheuttamalle lämmön laajenemiselle ja supistukselle.
Graniittilohkoja käytetään myös puolijohdeprosessoinnissa niiden lämpöstabiilisuuden vuoksi. Etsaus- tai laskeutumisprosessien aikana piin kiekon pinnan modifiointiin käytetään kuumia kaasuja tai plasmia. Kiekon lämpötilaa on ohjattava sen varmistamiseksi, että prosessi suoritetaan tehokkaasti ja tarkasti. Graniittilohkot, joilla on alhainen lämpölaajennuskertoimella, auttavat stabiloimaan kiekon lämpötilaa vähentämällä lämpötilan vaihteluiden riskiä, jotka voivat vaikuttaa jalostetun materiaalin laatuun.
Valmistus- ja prosessointiprosessien lisäksi graniittikomponentteja käytetään myös puolijohteiden valmistuksen metrologiassa ja tarkastusvaiheissa. Metrologian mittaukset tehdään sen varmistamiseksi, että kiekkojen rakenteiden koko, muoto ja sijainti ovat vaadituissa eritelmissä. Graniittilohkoja käytetään vertailustandardeina näissä mittauksissa niiden mittakaavan ja tarkkuuden vuoksi. Niitä käytetään myös tarkastusvaiheissa, joissa integroitujen piirien laatu tarkistetaan suuren suurennuksen alla.
Kaiken kaikkiaan graniittikomponenttien käyttö puolijohteiden valmistuksessa on lisääntynyt viime vuosina. Integroitujen piirien valmistuksen ja käsittelyn tarkkuuden, tarkkuuden ja stabiilisuuden tarve on johtanut näiden materiaalien omaksumiseen puolijohdevalmistajien toimesta. Graniitin ainutlaatuiset ominaisuudet, kuten sen kovuus, stabiilisuus ja matala lämpölaajennuskerroin, tekevät siitä erinomaisen valinnan käytettäväksi näissä prosesseissa. Puolijohdeteknologian jatkuvan kehityksen ja parantamisen myötä graniittikomponenttien käytön odotetaan kasvavan edelleen tulevaisuudessa.
Viestin aika: joulukuu-05-2023