Puolijohde- ja optoelektroniikan valmistuslaitteissa graniittia käytetään pääasiassa avainosissa, kuten tarkkuusliikealustoissa, ohjauskiskojen alustoissa, tärinänvaimennusrakenteissa ja optisten komponenttien asennusalustoissa. Näillä osilla on erittäin korkeat vaatimukset tarkkuuden, vakauden ja ympäristön sietokyvyn suhteen. Graniitin ominaisuudet voivat täyttää tarkasti puolijohde- ja optoelektroniikkateollisuuden tiukat vaatimukset. Seuraavassa on analyysi erityisistä sovellusskenaarioista ja eduista:
I. Tärkeimmät sovellusosat
Tarkkuusliikealustat (kuten kiekkoalustat fotolitografiakoneille ja liimauskoneille)
Sitä käytetään tarkkuuskomponenttien, kuten kiekkojen ja optisten linssien, kuljettamiseen, jolloin saavutetaan nanomittakaavan tarkkuudella tapahtuva siirto- ja rotaatioliikkeet.
Tyypilliset laitteet: fotolitografiakoneen työkappalepöytä, mittauslaitteiden asemointialusta.
Ohjauskiskon pohja ja runkorakenne
Lineaarijohteiden ja ilmakellutusjohteiden asennusalustana se tukee laitteen ydinliikemekanismia.
Tyypilliset laitteet: puolijohdepakkauslaitteiden mekaaniset rungot ja optiset tarkastuslaitteet.
Tärinäneristystuki ja vakauttava rakenne
Sitä käytetään eristämään ulkoisia tärinöitä (kuten tärinöitä tehtaan lattialta tai laitteiden käytön aikana) ja varmistamaan optisten järjestelmien tai tarkkuuskoneiden vakauden.
Tyypillisiä skenaarioita: Optisten mikroskooppien ja laserinterferometrien jalustatuki.
Optisten komponenttien kiinnitysalusta
Kiinnitä optisia laitteita, kuten peilejä, prismoja ja lasereita, varmistaaksesi optisen polkujärjestelmän kohdistustarkkuuden pitkäaikaisen vakauden.
Tyypilliset laitteet: Optoelektroniset pakkauslaitteet, optisten kuitujen kytkentäjärjestelmät.
Julkaisun aika: 29.5.2025