Graniittimateriaaleja käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa niiden erinomaisten ominaisuuksien, kuten korkean stabiilisuuden, alhaisen lämpölaajenemisen ja korkean korroosionkestävyyden, ansiosta. Nämä ominaisuudet tekevät graniitista ihanteellisen materiaalin tarkkuuskomponenttien rakentamiseen kiekkojen siirtojärjestelmissä.
Puolijohteiden valmistusprosessissa kiekkojen siirtojärjestelmällä on ratkaiseva rooli kiekkojen kuljettamisessa valmistusprosessin eri vaiheiden välillä. Tarkkuus ja täsmällisyys ovat näiden järjestelmien olennaisia vaatimuksia, sillä pienetkin poikkeamat voivat vaarantaa koko prosessin. Siksi kiekkojen siirtojärjestelmän komponenttien on oltava valmistettu korkealaatuisista materiaaleista, ja graniitti täyttää nämä kriteerit.
Joitakin graniittimateriaaleista valmistettuja kiekkojen siirtojärjestelmän osia ovat:
1. Tyhjiöistukkapöytä
Alipainepöytää käytetään kiekon pitämiseen prosessin aikana, ja sen pinnan on oltava vakaa, jotta kiekko ei vaurioidu. Graniitti on ihanteellinen materiaali tämän pöydän valmistukseen, koska sen tasainen, huokoseton pinta tarjoaa suurta vakautta ja tarkkuutta. Lisäksi graniitilla on alhainen lämpölaajenemiskerroin, minkä ansiosta se kestää lämpötilan muutoksia, jotka voisivat aiheuttaa kiekon mittamuutoksia.
2. Ilmalaakerivaihe
Ilmalaakeria käytetään kiekon kuljettamiseen valmistusprosessin eri vaiheiden läpi. Lava on suunniteltu tarjoamaan kitkattoman liikkeen, mikä vaatii suurta tarkkuutta ja vakautta. Graniittia käytetään tässä sovelluksessa, koska se on jäykkä ja kova kivi, joka kestää muodonmuutoksia ja kulumista ajan myötä.
3. Lineaarisen liikkeen ohjaimet
Lineaarisen liikkeen ohjaimia käytetään ilmalaakerivaiheen ohjaamiseen, ja ne on sijoitettava tarkasti virheiden minimoimiseksi. Graniittia käytetään tämän ohjaimen rakentamiseen, koska sillä on erinomainen mekaaninen stabiilius ja lujuus. Materiaali on myös korroosionkestävä, mikä varmistaa ohjaimen pitkän käyttöiän.
4. Mittauslaitteet
Metrologisia laitteita käytetään kiekon mittojen ja ominaisuuksien mittaamiseen valmistusprosessin aikana. Graniitti on ihanteellinen materiaali tämän laitteen rakentamiseen, koska sillä on suuri jäykkyys, pieni laajeneminen ja minimaalinen muodonmuutos kuormituksen aikana. Lisäksi graniitin lämmönkestävyys varmistaa, että metrologiset laitteet pysyvät vakaina ja tarkkoina ajan kuluessa.
Yhteenvetona voidaan todeta, että puolijohdeteollisuus luottaa tarkkuuteen ja täsmällisyyteen, ja graniittimateriaalit ovat osoittautuneet erittäin luotettaviksi ja vakaiksi valmistusprosessissa. Koska monet kiekkojen siirtojärjestelmän kriittiset komponentit vaativat suurta vakautta, tarkkuutta ja pientä lämpölaajenemista, insinöörit ovat kääntyneet graniittimateriaalien puoleen täyttääkseen nämä kriittiset vaatimukset.
Julkaisun aika: 19.3.2024