Graniittimateriaaleja käytetään laajasti puolijohdeteollisuudessa niiden erinomaisten ominaisuuksien, kuten korkean stabiilisuuden, alhaisen lämmön laajentumisen ja korkean korroosionkestävyyden vuoksi. Nämä ominaisuudet tekevät graniitista ihanteellisen materiaalin korkean tarkkuuden komponenttien rakentamiseksi kiekkojen siirtojärjestelmään.
Puolijohteiden valmistusprosessissa kiekkojen siirtojärjestelmällä on kriittinen rooli kiekkojen kuljettamisessa valmistusprosessin eri vaiheissa. Tarkkuus ja tarkkuus ovat näiden järjestelmien olennaisia vaatimuksia, koska jopa pienet poikkeamat voivat vaarantaa koko prosessin. Siksi kiekkojen siirtojärjestelmän komponentit on tehtävä korkealaatuisista materiaaleista, ja graniitti täyttää nämä kriteerit.
Joitakin graniittimateriaalista valmistettujen kiekkojen siirtojärjestelmän osia ovat:
Kello 1. Tyhjiöpöytä
Vakuumin istukkataulukkoa käytetään kiekon pitämiseen prosessin aikana, ja sillä on oltava vakaa pinta varmistaakseen, että kiekko ei ole vaurioitunut. Graniitti on ihanteellinen materiaali tämän pöydän valmistukseen, koska sillä on tasainen, ei-huokoinen pinta, joka tarjoaa korkean stabiilisuuden ja tarkkuuden. Lisäksi graniitissa on alhainen lämpölaajennuskerroin, mikä tekee siitä kestävän lämpötilan muutoksille, jotka voivat aiheuttaa kiekkojen mittamuutoksia.
2. Ilma-alainen vaihe
Ilmankäyttövaihetta käytetään kiekon kuljettamiseen valmistusprosessin eri vaiheissa. Vaihe on suunniteltu tarjoamaan kitkaton liike, joka vaatii suurta tarkkuutta ja vakautta. Graniittia käytetään tässä sovelluksessa, koska se on jäykkä ja kova kivi, ja se vastustaa muodonmuutoksia ja kulumista ajan myötä.
3. Lineaarinen liikeoppaat
Lineaarisia liikeoppaita käytetään ilmavaiheessa ohjaamiseen, ja niiden on oltava tarkasti sijoitettu virheiden minimoimiseksi. Graniittia käytetään tämän oppaan rakentamiseen, koska sillä on erinomainen mekaaninen vakaus ja lujuus. Materiaali on myös korroosionkestävä, mikä varmistaa ohjausjärjestelmän pitkäikäisyyden.
4. Metrologialaitteet
Metrologialaitteita käytetään kiekon mittojen ja ominaisuuksien mittaamiseen valmistusprosessin aikana. Graniitti on ihanteellinen materiaali tämän laitteen rakentamiseen, koska sillä on korkea jäykkyys, pieni laajentuminen ja minimaalinen muodonmuutos kuorman alla. Lisäksi graniitin lämpöstabiilisuus varmistaa, että metrologialaitteet pysyvät vakaina ajan myötä.
Yhteenvetona voidaan todeta, että puolijohdeteollisuus riippuu tarkkuudesta ja tarkkuudesta, ja graniittimateriaalit ovat osoittautuneet erittäin luotettaviksi ja vakaiksi valmistusprosessissa. Koska kiekkojen siirtojärjestelmässä on monia kriittisiä komponentteja, jotka vaativat suurta vakautta, tarkkuutta ja alhaisen lämmön laajentumista, insinöörit ovat kääntyneet graniittimateriaaleihin näiden kriittisten vaatimusten täyttämiseksi.
Viestin aika: Mar-19-2024