Graniittimateriaaleja käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa niiden erinomaisten ominaisuuksien, kuten korkean stabiilisuuden, alhaisen lämpölaajenemisen ja korkean korroosionkestävyyden, ansiosta.Nämä ominaisuudet tekevät graniitista ihanteellisen materiaalin erittäin tarkkojen komponenttien rakentamiseen kiekkojen siirtojärjestelmässä.
Puolijohteiden valmistusprosessissa kiekkojen siirtojärjestelmällä on kriittinen rooli kiekkojen kuljettamisessa valmistusprosessin eri vaiheissa.Tarkkuus ja tarkkuus ovat olennaisia vaatimuksia näille järjestelmille, sillä pienetkin poikkeamat voivat vaarantaa koko prosessin.Siksi kiekkojen siirtojärjestelmän komponenttien tulee olla korkealaatuisia materiaaleja, ja graniitti täyttää kriteerit.
Jotkut kiekkojen siirtojärjestelmän osista, jotka on valmistettu graniittimateriaaleista, sisältävät:
1. Imuistukan pöytä
Tyhjiöistukkapöytää käytetään kiekon pitämiseen prosessin aikana, ja sen pinnan tulee olla vakaa, jotta kiekko ei vaurioidu.Graniitti on ihanteellinen materiaali tämän pöydän valmistukseen, koska sen tasainen, ei-huokoinen pinta tarjoaa korkean vakauden ja tarkkuuden.Lisäksi graniitilla on alhainen lämpölaajenemiskerroin, mikä tekee siitä kestävän lämpötilan muutoksia, jotka voivat aiheuttaa mittamuutoksia kiekossa.
2. Ilmalaakerivaihe
Ilmaa kantavaa vaihetta käytetään kiekon kuljettamiseen valmistusprosessin eri vaiheiden läpi.Lava on suunniteltu tarjoamaan kitkaton liike, mikä vaatii suurta tarkkuutta ja vakautta.Graniittia käytetään tässä sovelluksessa, koska se on jäykkä ja kova kivi, ja se kestää muodonmuutoksia ja kulumista ajan myötä.
3. Lineaariset liikeohjaimet
Lineaarisia liikeohjaimia käytetään ilmalaakerivaiheen ohjaamiseen, ja ne on sijoitettava tarkasti virheiden minimoimiseksi.Graniittia käytetään tämän oppaan rakentamiseen, koska sillä on erinomainen mekaaninen vakaus ja lujuus.Materiaali on myös korroosionkestävää, mikä varmistaa ohjausjärjestelmän pitkäikäisyyden.
4. Metrologiset laitteet
Metrologialaitteistoa käytetään kiekon mittojen ja ominaisuuksien mittaamiseen valmistusprosessin aikana.Graniitti on ihanteellinen materiaali tämän laitteen rakentamiseen, koska sillä on korkea jäykkyys, alhainen laajeneminen ja minimaalinen muodonmuutos kuormituksen alaisena.Lisäksi graniitin lämpöstabiilisuus varmistaa, että metrologiset laitteet pysyvät vakaana ja tarkana ajan kuluessa.
Yhteenvetona voidaan todeta, että puolijohdeteollisuus luottaa tarkkuuteen ja tarkkuuteen, ja graniittimateriaalit ovat osoittautuneet erittäin luotettaviksi ja vakaiksi valmistusprosessissa.Koska kiekkojen siirtojärjestelmässä on monia kriittisiä komponentteja, jotka vaativat suurta vakautta, tarkkuutta ja alhaista lämpölaajenemista, insinöörit ovat kääntyneet graniittimateriaalien puoleen täyttääkseen nämä kriittiset vaatimukset.
Postitusaika: 19.3.2024