Graniittipeti on tärkeä komponentti erilaisissa puolijohdelaiteissa.Erittäin vakaana ja jäykkänä materiaalina graniittia käytetään laajalti puolijohdekäsittelylaitteiden pohjana.Sille on tunnusomaista sen alhainen lämpölaajenemiskerroin, korkea mittastabiilius ja erinomaiset mekaaniset ominaisuudet.Näiden ominaisuuksien vuoksi graniittipetiä käytetään yleisimmin kolmessa eri tyyppisessä puolijohdelaitteessa - metrologialaitteissa, litografialaitteissa ja tarkastuslaitteissa.
Metrologialaitteistoa käytetään puolijohdelaitteiden kriittisten mittojen mittaamiseen ja havaitsemiseen.Sillä on ratkaiseva rooli puolijohteiden valmistusprosessin laadun ja johdonmukaisuuden ylläpitämisessä.Metrologisiin laitteisiin kuuluvat instrumentit, kuten optiset mikroskoopit, elektronimikroskoopit ja atomivoimamikroskoopit (AFM).Koska näiden mittauslaitteiden suorituskyky riippuu niiden vakaudesta, tarkkuudesta ja tärinänkestävyydestä, graniitti on ihanteellinen valinta niiden sänkymateriaaliksi.Graniittikerroksen tasaisuus ja vakaus tarjoavat vakaan alustan instrumenteille, mikä parantaa niiden tarkkuutta ja luotettavuutta.
Litografialaitteita käytetään mikrosirukuvioiden tekemiseen kiekolle.Litografiaprosessi vaatii korkeaa tarkkuutta ja tarkkuutta monimutkaisten piirien luomiseksi ja sirun suorituskyvyn parantamiseksi.Litografialaitteisto sisältää stepperi- ja skannerijärjestelmät, jotka siirtävät kuvia valolla kiekolle.Koska litografiaprosessi on erittäin herkkä tärinölle ja lämpömuutoksiin, korkealaatuinen peti on välttämätön litografiaprosessin vakauden ja toistettavuuden varmistamiseksi.Graniittipatjat tarjoavat litografiajärjestelmille vaaditun vakauden ja tiukan tärinänvaimennussuorituskyvyn.Graniittipatjan ansiosta stepper- tai skannerijärjestelmä voi ylläpitää tarkat tilasuhteet varmistaen korkean tarkkuuden ja lopputuotteen laadun.
Tarkastuslaitteita käytetään puolijohdelaitteiden mahdollisten vikojen havaitsemiseen.Tarkastuslaitteet sisältävät järjestelmiä, kuten laserpyyhkäisymikroskoopit, elektronimikroskoopit ja optiset mikroskoopit.Graniittisängyt ovat täydellinen materiaali, koska näiden laitteiden on oltava erittäin tarkkoja, vakaita ja tärinänkestäviä.Graniitin mekaaniset ominaisuudet ja mittapysyvyys auttavat tärinän eristämisessä, mikä parantaa tarkastuslaitteiston lähdön tarkkuutta.
Yhteenvetona voidaan todeta, että graniittipeti on ratkaiseva puolijohdeteollisuudelle ja sitä käytetään laajasti erilaisissa laitteissa.Sen ainutlaatuiset ominaisuudet, kuten mittapysyvyys, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja erinomainen mekaaninen stabiilisuus tekevät graniitista ihanteellisen valinnan puolijohdelaitteiden petimateriaaliksi.Koska korkealaatuinen graniittipeti tarjoaa puolijohdelaitteistolle tarvittavan vakauden, tarkkuuden ja tärinänkestävyyden, se parantaa viime kädessä lopputuotteen laatua.Siksi graniittikerroksen käyttö puolijohdelaitteessa jatkuu varmasti tulevina vuosina.
Postitusaika: 03.04.2024