Graniittikerros on tärkeä komponentti useissa puolijohdelaitteissa. Erittäin vakaana ja jäykkänä materiaalina graniittia käytetään laajalti puolijohdelaitteiden pohjana. Sille on ominaista alhainen lämpölaajenemiskerroin, korkea mittapysyvyys ja erinomaiset mekaaniset ominaisuudet. Näiden ominaisuuksien ansiosta graniittikerrosta käytetään yleisimmin kolmessa erityyppisessä puolijohdelaitteessa - metrologialaitteissa, litografialaitteissa ja tarkastuslaitteissa.
Metrologisia laitteita käytetään puolijohdekomponenttien kriittisten mittojen mittaamiseen ja havaitsemiseen. Niillä on ratkaiseva rooli puolijohteiden valmistusprosessin laadun ja yhdenmukaisuuden ylläpitämisessä. Metrologisiin laitteisiin kuuluvat instrumentit, kuten optiset mikroskoopit, elektronimikroskoopit ja atomivoimamikroskoopit (AFM). Koska näiden mittauslaitteiden suorituskyky riippuu niiden vakaudesta, tarkkuudesta ja tärinänkestävyydestä, graniitti on ihanteellinen valinta niiden alustamateriaaliksi. Graniittialustan tasaisuus ja vakaus tarjoavat instrumenteille vakaan alustan, mikä parantaa niiden tarkkuutta ja luotettavuutta.
Litografialaitteita käytetään mikrosirukuvioiden tekemiseen kiekolle. Litografiaprosessi vaatii suurta tarkkuutta ja täsmällisyyttä monimutkaisten piirien luomiseksi ja sirun suorituskyvyn parantamiseksi. Litografialaitteisiin kuuluvat askellus- ja skannerijärjestelmät, jotka käyttävät valoa kuvien siirtämiseen kiekolle. Koska litografiaprosessi on erittäin herkkä tärinälle ja lämpötilan muutoksille, korkealaatuinen alusta on välttämätön litografiaprosessin vakauden ja toistettavuuden varmistamiseksi. Graniittialustat tarjoavat litografiajärjestelmille vaadittavan vakauden ja tiukan tärinänvaimennuskyvyn. Graniittialusta mahdollistaa askellus- tai skannerijärjestelmän ylläpitää tarkkoja spatiaalisia suhteita varmistaen korkean tarkkuuden ja lopputuotteen laadun.
Tarkastuslaitteita käytetään puolijohdelaitteiden vikojen havaitsemiseen. Tarkastuslaitteisiin kuuluvat järjestelmät, kuten laserskannausmikroskoopit, elektronimikroskoopit ja optiset mikroskoopit. Näiden laitteiden on oltava erittäin tarkkoja, vakaita ja tärinänkestäviä, joten graniittipatjat ovat täydellinen materiaali. Graniitin mekaaniset ominaisuudet ja mittapysyvyys auttavat tärinäneristyksessä, mikä parantaa tarkastuslaitteiden tulosten tarkkuutta.
Yhteenvetona voidaan todeta, että graniittialusta on ratkaisevan tärkeä puolijohdeteollisuudelle ja sitä käytetään laajalti erityyppisissä laitteissa. Sen ainutlaatuiset ominaisuudet, kuten mittapysyvyys, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja erinomainen mekaaninen stabiilius, tekevät graniitista ihanteellisen valinnan puolijohdelaitteiden alustamateriaaliksi. Koska korkealaatuinen graniittialusta tarjoaa puolijohdelaitteille tarvittavan vakauden, tarkkuuden ja tärinänkestävyyden, se parantaa lopulta lopputuotteen laatua. Siksi graniittialustan käyttö puolijohdelaitteissa tulee varmasti jatkumaan tulevina vuosina.
Julkaisun aika: 03.04.2024