Graniitti on kova kivilaji, josta on tullut korvaamaton materiaali puolijohdeteollisuudessa. Sen ominaisuudet mahdollistavat korkeiden lämpötilojen kestävyyden, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi puolijohdelaitteiden valmistusprosessien eri vaiheissa. Tämän seurauksena graniitilla on laajat sovellusalueet puolijohdevalmistusprosessin laitetuotteissa.
Yksi graniitin käytetyimmistä sovelluksista on tarkkuustyöstökoneiden rakenteiden rakentaminen. Graniitin jäykkyys ja stabiilius mahdollistavat tarkkojen ja täsmällisten työkalujen valmistuksen vähäisellä tai olemattomalla muodonmuutoksella. Tämä tarkkuustaso on välttämätön puolijohteiden valmistusprosesseissa, kuten ioni-istutuksessa, jossa säde on suunnattava tarkasti kiekolle.
Toinen graniitin kokoonpanon sovellus puolijohdevalmistuksessa on metrologialaitteiden rakentaminen. Metrologiset laitteet ovat elintärkeitä puolijohdevalmistusprosesseissa, koska ne mittaavat ja varmistavat valmistettavien laitteiden tarkkuuden. Graniitin mittapysyvyys, alhainen lämpölaajeneminen ja erinomaiset tärinänvaimennusominaisuudet tekevät siitä ensisijaisen materiaalin metrologialaitteiden rakentamisessa. Tähän sisältyvät suuret graniittipinnat, joita käytetään kiekkojen lavastuksessa ja tarkastuksessa.
Optiset pöydät ovat jälleen yksi graniittikokoonpanon laaja sovellusalue puolijohdeteollisuudessa. Optisia pöytiä käytetään optisten laitteiden, kuten aaltojohteiden, testaamiseen tiedonsiirrossa. Graniitin tasaisuus, alhainen lämpölaajeneminen, korkea jäykkyys ja mekaaninen stabiilius mahdollistavat sen, että se tarjoaa erittäin vakaan pinnan optiikan kiinnittämiseen ja sijoittamiseen. Graniitista valmistetut optiset pöydät voivat tarjota vakauden ja jäykkyyden, jota tarvitaan optisten laitteiden tarkan ja täsmällisen testauksen suorittamiseen.
Graniittia käytetään myös kiekkoistukoiden ja -vaiheiden rakentamisessa. Puolijohteiden valmistusprosessissa tarkka kohdistus ja asennon hallinta ovat ratkaisevan tärkeitä. Kiekkoistukoiden, jotka pitävät kiekot paikoillaan prosessoinnin aikana, on säilytettävä paikkatarkkuus kestäessään korkeita lämpötiloja ja tyhjiöolosuhteita. Graniitilla on erinomainen mittapysyvyys laajalla lämpötila-alueella ja se kestää tyhjiöolosuhteita, mikä tekee siitä ihanteellisen kiekkoistukoiden rakentamiseen. Kiekkojen siirtämisessä paikasta toiseen käytettävät vaiheet käyvät läpi syklisen liikesarjan puolijohteiden valmistusprosessin aikana. Graniitin kokoonpano tarjoaa vakautta ja kestävyyttä, jota tarvitaan jatkuvien ja toistuvien liikesyklien kestämiseen.
Yhteenvetona voidaan todeta, että graniitin kokoonpanon käyttöalueet puolijohdeteollisuudessa ovat laajat. Sen ominaisuudet, kuten mittapysyvyys, alhainen lämpölaajeneminen, korkea jäykkyys ja tärinänvaimennus, tekevät siitä ihanteellisen materiaalin käytettäväksi puolijohdelaitteiden valmistusprosessien eri vaiheissa. Tarkkojen työstökoneiden ja mittauslaitteiden rakentamisesta optisiin pöytiin ja kiekkoasteisiin ja istukoihin, graniitin ominaisuuksilla on ratkaiseva rooli korkealaatuisen puolijohdelaitteen valmistuksen edellyttämän vakauden, tarkkuuden ja toistettavuuden varmistamisessa.
Julkaisun aika: 06.12.2023