Yksiakselisen ilmakellukkeen erittäin tarkan liikemoduulin sovelluskenttä graniittipohjalla.

Puolijohteiden valmistus: Sirun valmistusprosessissa fotolitografiaprosessin on siirrettävä piirikuvio tarkasti kiekolle. Yksiakselisen ilmassa kelluvan erittäin tarkan liikemoduulin graniittipohja voi tarjota erittäin tarkan paikannuksen ja vakaan tuen kiekkopöydälle litografialaitteistossa. Esimerkiksi ASML ja muut kansainvälisesti tunnetut litografiakoneiden valmistajat käyttävät graniittipohjaisia ​​ilmassa kelluvia liikemoduuleja huippuluokan laitteissaan, jotka voivat ohjata kiekon paikannustarkkuutta nanometritasolla varmistaakseen litografiakuvion tarkkuuden, mikä parantaa sirun integrointia ja suorituskykyä.
Tarkkuusmittauskenttä: KMK on teollisessa tuotannossa yleisesti käytetty tarkkuusmittauslaite, jota käytetään työkappaleen koon, muodon ja sijainnin tarkkuuden mittaamiseen. Graniittipohjaisen yksiakselisen ilmakelalaitteen erittäin tarkkaa liikemoduulia voidaan käyttää KMK:n liikealustana, mikä mahdollistaa tarkan lineaarisen liikkeen ja tarjoaa mittausanturille vakaan liikeradan. Esimerkiksi Hexagonin huippuluokan KMK käyttää tätä yhdistelmää suurten ja monimutkaisten osien mittaamiseen jopa mikronitason mittaustarkkuudella, mikä tarjoaa vahvan takuun osien laadunvalvonnalle autoteollisuudessa, ilmailu- ja muilla teollisuudenaloilla.
Ilmailu- ja avaruusala: Ilmailu- ja avaruusosien prosessoinnissa ja testauksessa vaaditaan suurta tarkkuutta. Esimerkiksi lentokoneiden moottorien lapojen työstö vaatii työkalun liikeradan tarkkaa hallintaa terän profiilin tarkkuuden varmistamiseksi. Yksiakselisen ilmakellukkeen erittäin tarkan liikemoduulin graniittipohjaa voidaan käyttää viisiakselisessa työstökeskuksessa ja muissa laitteissa työkalun tarkan liikkeenohjauksen varmistamiseksi ja sen varmistamiseksi, että terän työstötarkkuus täyttää suunnitteluvaatimukset. Samanaikaisesti lentokonemoottorin kokoonpanoprosessissa on myös käytettävä tarkkoja mittauslaitteita osien kokoonpanotarkkuuden havaitsemiseksi. Graniittipohjan ilmakelluva liikemoduuli voi tarjota vakaan tuen ja tarkan liikkeen mittauslaitteille kokoonpanon laadun varmistamiseksi.
Optinen tarkastuskenttä: Optisten komponenttien valmistus- ja testausprosessissa on välttämätöntä suorittaa optisten komponenttien tarkka paikannus ja mittaus. Esimerkiksi valmistettaessa erittäin tarkkoja optisia komponentteja, kuten peilejä ja linssejä, on tarpeen käyttää interferometrejä ja muita laitteita pinnan muodon tarkkuuden havaitsemiseksi. Yksiakselisen ilmassa kelluvan erittäin tarkan liikemoduulin graniittipohjaa voidaan käyttää interferometrin liikealustana, mikä voi toteuttaa mikronia pienemmän paikannustarkkuuden ja tarjota tarkkaa datatukea optisten komponenttien havaitsemiseen. Lisäksi laserkäsittelylaitteissa on välttämätöntä käyttää erittäin tarkkaa liikealustaa lasersäteen skannausradan ohjaamiseen. Ilmassa kelluvan liikemoduulin graniittipohja voi täyttää tämän vaatimuksen, jotta saavutetaan erittäin tarkka laserkäsittely.

tarkkuusgraniitti14


Julkaisun aika: 07.04.2025