Huippuluokan valmistuksen ja huipputieteellisen tutkimuksen aloilla tarkkuus staattisen paineen ilmakelluva liikealusta on avainlaite erittäin tarkan toiminnan saavuttamiseksi. Graniittinen tarkkuusjalusta on alustan ydinosa, ja sen suorituskyky liittyy läheisesti työympäristöön. Näiden ympäristövaatimusten ymmärtäminen ja täyttäminen voi paitsi varmistaa alustan tarkan toiminnan, myös olla tärkeä osa yrityksen kilpailukykyä siihen liittyvillä aloilla, kuten jäljempänä yksityiskohtaisesti kuvataan.
1. Lämpötila: tarkka säätö mittapysyvyyden varmistamiseksi
Vaikka graniitti tunnetaan stabiilisuudestaan, sen lämpölaajenemiskerroin ei ole nolla, ja pienet lämpötilan muutokset voivat silti vaikuttaa sen mittatarkkuuteen. Yleisesti ottaen graniitin lämpölaajenemiskerroin on 5-7 × 10⁻⁶/℃. Tarkkuuspohjaisen ilmakelluvan liikealustan käyttötilanteessa alusta vahvistaa tätä pientä muutosta, mikä voi johtaa liiketarkkuuden poikkeamaan. Esimerkiksi puolijohdesirujen valmistusprosessissa litografiaprosessissa danami-tason paikannustarkkuusvaatimusten mukaisesti 1 °C:n ympäristön lämpötilan vaihtelu voi johtaa 1 metrin graniittipohjan sivupituuteen, joka voi tuottaa 5-7 mikronin lineaarisen laajenemisen tai supistumisen, mikä riittää aiheuttamaan sirun litografiakuvion poikkeaman ja vähentämään saantoa. Siksi graniittitarkkuuspohjalla varustetun tarkkuuspohjaisen ilmakelluvan ihanteellinen työympäristön lämpötila tulisi pitää tiukasti 20 °C ±1 °C:ssa. Yritykset voivat asentaa erittäin tarkan vakiolämpötilassa toimivan ilmastointijärjestelmän, seurata ja säätää jatkuvasti ympäristön lämpötilaa ja ylläpitää graniittipohjan kokoa vakauden varmistamiseksi, jotta alusta toimii erittäin tarkasti.
2.kosteus: kohtuullinen hallinta, suojaa perussuorituskykyä
Kosteudella on myös merkittävä vaikutus tarkkuusgraniittialustoihin. Korkeassa kosteudessa graniitti imee helposti vesihöyryä, ja pinnalle voi tiivistyä kosteutta, mikä paitsi häiritsee ilmaflotaatiojärjestelmän normaalia toimintaa, myös johtaa graniittipinnan pitkäaikaiseen eroosioon, mikä vähentää sen tarkkuutta ja käyttöikää. Esimerkiksi optisen linssin hiontapajassa, jos kosteus on pitkään yli 60 % suhteellinen kosteus, graniittialustan pinnalle adsorboitunut vesihöyry tuhoaa ilmafloataatiokalvon tasaisuuden, mikä johtaa linssin hiontatarkkuuden heikkenemiseen ja pintavirheisiin. Siksi työympäristön suhteellista kosteutta on valvottava 40–60 %:n välillä. Yritykset voivat käyttää ilmankuivaimia, kosteusantureita ja muita laitteita kosteuden seuraamiseen ja säätämiseen reaaliajassa, luoda sopivan kosteusympäristön tarkkuusgraniittialustalle ja varmistaa tarkkuusstaattisella paineilmakelluvalla liikkuvan alustan vakaan toiminnan.
3. puhtaus: valvo tarkasti, poista hiukkasten häiriöt
Pölyhiukkaset ovat tarkkuus-staattisen paineilmakelluvan liikkuvan alustan "vihollinen" ja vahingoittavat suuresti graniittista tarkkuusalustaa. Kun pienet hiukkaset pääsevät kaasukalvon rakoon kaasukellukkeen liukusäätimen ja graniittialustan välillä, ne voivat tuhota kaasukalvon tasaisuuden, lisätä kitkaa ja jopa naarmuttaa alustan pintaa, mikä vaikuttaa vakavasti alustan liikkeen tarkkuuteen. Ilmailu- ja avaruusteollisuuden osien erittäin tarkassa koneistustyöpajassa, jos ilmassa olevat pölyhiukkaset putoavat graniittialustalle, työstötyökalun liikerata voi poiketa, mikä vaikuttaa osien koneistustarkkuuteen. Siksi työalue on pidettävä erittäin puhtaana ja sen puhtaustason on oltava vähintään 10 000. Yritykset voivat suodattaa pölyhiukkaset ilmasta asentamalla tehokkaita ilmansuodattimia (HEPA) ja vaatia henkilöstöltä pölyttömiä vaatteita, kengänsuojia jne. ihmisten tuoman pölyn vähentämiseksi ja graniittialustan ja tarkkuus-staattisen paineilmakelluvan liikkuvan alustan tarkan käyttöympäristön ylläpitämiseksi.
4. Tärinä: Tehokas eristys tasaisen tilan luomiseksi
Ulkoinen tärinä häiritsee vakavasti tarkkuusgraniittijalustan tarkkuutta. Vaikka tarkkuusgraniittijalustalla on tietty tärinänvaimennuskyky, voimakas tärinä voi silti rikkoa puskurirajansa. Tehtaan ympärillä olevan liikenteen ja suurten mekaanisten laitteiden toiminnan aiheuttama tärinä välittyy graniittijalustaan maan kautta, mikä häiritsee alustan liikkeen tarkkuutta. Huippuluokan koordinaattimittauskoneissa tärinä voi aiheuttaa mittausanturin ja mitattavan työkappaleen välisen kosketuksen epävakauden, mikä johtaa mittaustietojen poikkeamaan. Tämän ongelman ratkaisemiseksi on tarpeen ottaa käyttöön tehokkaita tärinänvaimennustoimenpiteitä, kuten tärinänvaimennustyynyjen asentaminen laitteen asennusalueelle, tärinänvaimennusperustuksen rakentaminen tai aktiivisen tärinänvaimennusjärjestelmän käyttö ulkoisen tärinän aktiiviseksi kompensoimiseksi ja luoda hiljainen ja vakaa työympäristö graniittitarkkuusjalustalle ja tarkkuusgraniittijalustalle.
Täyttääkseen edellä mainitut ympäristövaatimukset, jotta tarkkuusjalustan graniittipohjan edut voidaan hyödyntää täysimääräisesti tarkkuus-staattisessa paineilmakelluvassa liikealustassa, jotta alusta tarjoaa erittäin tarkkoja ja vakaita liikkeenohjauspalveluita eri toimialoille. Jos yritykset voivat kiinnittää huomiota näihin yksityiskohtiin tuotantoympäristössä, ne voivat hyödyntää tilaisuutta tarkkuusvalmistuksessa, tieteellisessä tutkimuksessa ja muilla aloilla, parantaa kilpailukykyään ja saavuttaa kestävän kehityksen.
Julkaisuaika: 10. huhtikuuta 2025