Graniittia on käytetty laajalti puolijohdelaitteiden valmistuksessa ja suunnittelussa jo vuosia. Tämä johtuu sen erinomaisista ominaisuuksista, jotka tekevät siitä ihanteellisen materiaalin moniin sovelluksiin. Graniitti kestää erittäin hyvin kulutusta, korroosiota ja lämpöshokkeja, minkä ansiosta se soveltuu käytettäväksi vaativissa olosuhteissa. Tässä artikkelissa käsittelemme joitakin graniitin yleisiä sovelluksia puolijohdelaitteissa.
1. Mittauslaitteet
Metrologisia laitteita käytetään puolijohdekomponenttien mittojen ja ominaisuuksien mittaamiseen. Graniittia käytetään usein tällaisten laitteiden pohjana sen korkean mittapysyvyyden vuoksi. Graniittipinnan tasaisuus ja tarkkuus tarjoavat ihanteellisen vertailukohdan tarkkoihin mittauksiin. Lisäksi graniitin terminen stabiilius vähentää lämpötilavaihteluista johtuvien mittamuutosten riskiä.
2. Optiset laitteet
Graniittia käytetään myös optisissa laitteissa, kuten litografiakoneissa, joita käytetään puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Graniittipohja tarjoaa vakaan alustan näissä koneissa käytetylle tarkkuusoptiikalle. Graniitin erinomaiset tärinänvaimennusominaisuudet auttavat myös vähentämään tärinää, joka voi vaikuttaa optiikan suorituskykyyn ja tarkkuuteen.
3. Kiekkojen käsittelylaitteet
Puolijohdekiekkojen käsittelyyn kuuluu useita vaiheita, mukaan lukien puhdistus, etsaus ja pinnoitus. Graniittia käytetään useissa kiekkojen käsittelylaitteiden osissa. Esimerkiksi graniittia käytetään substraattina kemiallisessa höyrypinnoituslaitteessa (CVD), jota käytetään ohuiden kalvojen kerrostamiseen piikiekoille. Graniittia käytetään myös syövytyskammioiden ja muiden prosessisäiliöiden rakentamisessa, joissa sen erinomainen kemiallinen kestävyys ja mittapysyvyys ovat olennaisia.
4. Testauslaitteet
Testauslaitteita käytetään puolijohdekomponenttien suorituskyvyn ja laadun tarkistamiseen. Graniittia käytetään usein testauslaitteiden pohjana sen korkean jäykkyyden ja vakauden vuoksi. Graniitti tarjoaa ei-magneettisen ja ei-johtavan alustan, joka poistaa häiriöt herkkien testauslaitteiden kanssa. Graniittipinnan tasaisuus ja tarkkuus mahdollistavat erittäin tarkat testitulokset.
Johtopäätös
Yhteenvetona voidaan todeta, että graniitti on tärkeä materiaali puolijohdelaitteiden suunnittelussa ja valmistuksessa. Sen erinomaiset ominaisuudet, kuten mittapysyvyys, lämmönkestävyys, kemiallinen kestävyys ja tärinänvaimennus, tekevät siitä ihanteellisen materiaalin moniin sovelluksiin. Graniittia käytetään useissa puolijohdelaitteiden kriittisissä komponenteissa, kuten mittauslaitteissa, optisissa laitteissa, kiekkojen käsittelylaitteissa ja testauslaitteissa. Koska nopeampien, pienempien ja tehokkaampien puolijohdelaitteiden kysyntä kasvaa jatkuvasti, graniitin käyttö puolijohdelaitteissa tulee todennäköisesti pysymään olennaisena.
Julkaisun aika: 8.4.2024