Teknologian kehittyessä graniittiosien käyttö puolijohdelaitteissa on yleistynyt. Graniitti on suosittu valinta puolijohdelaitteiden prosessointiteknologiassa monien etujensa ansiosta. Graniitti on yksi kovimmista ja kestävimmistä saatavilla olevista materiaaleista, mikä tekee siitä ihanteellisen materiaalin puolijohdeteollisuuteen. Se on erinomainen lämmönjohde ja sillä on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin, mikä tekee siitä täydellisen materiaalin korkeissa lämpötiloissa.
Puolijohdelaitteissa käytettävien graniittiosien prosessointitekniikka sisältää useita tekniikoita ja prosesseja. Olennaiset vaiheet ovat graniittipinnan kiillotus, etsaus ja puhdistus. Käytettävä prosessointitekniikka riippuu sovelluksesta ja käytettävän graniitin tyypistä.
Kiillotus on kriittinen osa graniittiosien käsittelyä puolijohdelaitteissa. Graniitin pinnan kiillottaminen erittäin tasaiseksi auttaa varmistamaan, että kiekko ei vaurioidu käsittelyn aikana. Tämä vähentää kiekon pinnan kontaminaatioriskiä hiukkasilla tai naarmuilla. Kiillotus voidaan saavuttaa useilla menetelmillä, kuten mekaanisella kiillotuksella, kemiallisella kiillotuksella ja sähkökemiallisella kiillotuksella.
Syövytys on toinen graniittiosien prosessoinnin perusnäkökohta puolijohdelaitteissa. Syövytystä käytetään haluttujen kuvioiden luomiseen graniittiosan pinnalle. Kuvioita käytetään puolijohdekiekkojen valmistuksessa ja prosessoinnissa. Syövytystä voidaan suorittaa useilla tavoilla, mukaan lukien plasmaetsaus, märkäkemiallinen etsaus ja kuivakemiallinen etsaus. Käytettävän syövytysprosessin tyyppi riippuu materiaalista ja halutusta kuviosta.
Graniittipinnan puhdistaminen on myös kriittistä. Puhdistusprosessi on välttämätön mahdollisten epäpuhtauksien, kuten hiukkasten ja muiden epäpuhtauksien, poistamiseksi pinnalta, jotka voivat häiritä puolijohteiden valmistusprosessia. Puhdistus voidaan tehdä useilla eri menetelmillä, kuten ultraäänipuhdistuksella, kemiallisella puhdistuksella tai plasmapuhdistuksella.
Yhteenvetona voidaan todeta, että graniittiosien prosessointitekniikalla puolijohdelaitteissa on ratkaiseva rooli puolijohteiden valmistusprosessissa. Graniittiosien käyttö auttaa parantamaan lopputuotteen laatua ja luotettavuutta. Prosessointitekniikkaan kuuluu graniittipinnan kiillotus, etsaus ja puhdistus. Jokaiselle vaiheelle on olemassa useita menetelmiä, ja käytetyn prosessointitekniikan tyyppi riippuu materiaalista ja halutusta kuviosta. Oikean prosessointitekniikan avulla puolijohteiden valmistusprosessista voidaan tehdä tehokkaampi, luotettavampi ja kustannustehokkaampi.
Julkaisun aika: 19.3.2024