♦Alumiinioksidi (Al2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Groupin (ZHHIMG) valmistamat tarkkuuskeraamiset osat voidaan valmistaa erittäin puhtaista keraamisista raaka-aineista, jotka sisältävät 92–97 % alumiinioksidia, 99,5 % alumiinioksidia tai yli 99,9 % alumiinioksidia, ja CIP-kylmäisostaattisella puristuksella. Korkean lämpötilan sintraus ja tarkkuuskoneistus, mittatarkkuus ± 0,001 mm, sileys jopa Ra0,1, käyttölämpötila jopa 1600 astetta. Asiakkaan vaatimusten mukaisesti voidaan valmistaa eri värejä keraamisia osia, kuten mustaa, valkoista, beigeä, tummanpunaista jne. Yrityksemme valmistamat tarkkuuskeraamiset osat kestävät korkeita lämpötiloja, korroosiota, kulumista ja eristystä, ja niitä voidaan käyttää pitkään korkeissa lämpötiloissa, tyhjiössä ja syövyttävissä kaasuympäristöissä.
Käytetään laajalti useissa puolijohdetuotantolaitteissa: rungoissa (keraaminen kiinnike), alustassa (jalusta), varressa/sillassa (manipulaattori), mekaanisissa komponenteissa ja keraamisissa ilmalaakereissa.
Tuotteen nimi | Korkean puhtauden 99 alumiinioksidikeraaminen neliöputki / putki / sauva | |||||
Indeksi | Yksikkö | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al₂O₃ | |
Tiheys | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Veden imeytyminen | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintrattu lämpötila | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Kovuus | Mohsin | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Taivutuslujuus (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Puristuslujuus | Kgf/cm² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Pitkäaikainen käyttölämpötila | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. käyttölämpötila | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Tilavuusresistiivisyys | 20 ℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Korkean puhtauden omaavien alumiinioksidikeraamien käyttö:
1. Soveltuu puolijohdelaitteisiin: keraaminen tyhjiöistukka, leikkauslevy, puhdistuslevy, keraaminen ISTUKKA.
2. Kiekkojen siirto-osat: kiekkojen käsittelyistukat, kiekkojen leikkauslevyt, kiekkojen puhdistuslevyt, kiekkojen optisen tarkastuksen imukupit.
3. LED/LCD-litteänäyttöteollisuus: keraaminen suutin, keraaminen hiomalaikka, nostotappi, tapinkisko.
4. Optinen viestintä, aurinkoenergiateollisuus: keraamiset putket, keraamiset tangot, piirilevyjen silkkipainokeraamiset kaapimet.
5. Lämmönkestävät ja sähköä eristävät osat: keraamiset laakerit.
Tällä hetkellä alumiinioksidikeraamit voidaan jakaa erittäin puhtaisiin ja tavallisiin keraamisiin materiaaleihin. Erittäin puhtaat alumiinioksidikeraamit viittaavat keraamiseen materiaaliin, joka sisältää yli 99,9 % Al₂O₃:ta. Koska niiden sintrauslämpötila on jopa 1650–1990 °C ja läpäisyaallonpituus 1–6 μm, niitä käytetään yleensä platinaupokkaiden sijaan lasisulateina, joita voidaan käyttää natriumputkina valonläpäisyn ja alkalimetallikorroosionkestävyyden ansiosta. Elektroniikkateollisuudessa niitä voidaan käyttää korkeataajuisena eristemateriaalina IC-alustoille. Alumiinioksidipitoisuuksien mukaan yleiset alumiinioksidikeraamit voidaan jakaa 99-, 95-, 90- ja 85-keraameihin. Joskus myös 80–75 % alumiinioksidia sisältävät keraamit luokitellaan yleisiksi alumiinioksidikeraamisiksi materiaaleiksi. Näistä 99-alumiinioksidikeraamista materiaalia käytetään korkean lämpötilan upokkaiden, palonkestävien uuniputkien ja erityisten kulutusta kestävien materiaalien, kuten keraamisten laakereiden, keraamisten tiivisteiden ja venttiililevyjen, valmistukseen. 95-alumiinikeraamia käytetään pääasiassa korroosionkestävänä ja kulutusta kestävänä osana. 85-keraamiin sekoitetaan usein joitakin ominaisuuksia, mikä parantaa sähköistä suorituskykyä ja mekaanista lujuutta. Siinä voidaan käyttää molybdeeniä, niobiumia, tantaalia ja muita metallitiivisteitä, ja joitakin käytetään sähköisinä tyhjiölaitteina.
Laadukas tuote (edustava arvo) | Tuotteen nimi | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kemiallinen koostumus Vähäsuolainen helposti sintrautuva tuote | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOL | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Keskikokoisen hiukkasen halkaisija (MT-3300, laseranalyysimenetelmä) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α-kiteen koko | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Muodostumistiheys** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sintraustiheys** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Sintrauslinjan kutistumisnopeus** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO:ta ei ole sisällytetty Al₂O₃:n puhtausasteen laskelmaan.
* Ei hilseilevää jauhetta 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintrauslämpötila on 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Lisää 0,05–0,1 % MgO:ta, sintrautuvuus on erinomainen, joten sitä voidaan käyttää yli 99 %:n puhtausasteen alumiinioksidikeraamien kanssa.
AES-22S: Sille on ominaista korkea muovaustiheys ja sintrauslinjan alhainen kutistumisnopeus, ja se soveltuu liukumuottivaluihin ja muihin laajamittaisiin tuotteisiin vaaditulla mittatarkkuudella.
AES-23 / AES-31-03: Sillä on suurempi muovaustiheys, tiksotropia ja alhaisempi viskositeetti kuin AES-22S:llä. Ensin mainittua käytetään keraamisissa materiaaleissa, kun taas jälkimmäistä käytetään veden vähentäjänä palonestomateriaaleissa, ja se on kasvattanut suosiotaan.
♦Piikarbidin (SiC) ominaisuudet
Yleiset ominaisuudet | Pääkomponenttien puhtaus (painoprosentti) | 97 | |
Väri | Musta | ||
Tiheys (g/cm³) | 3.1 | ||
Veden imeytyminen (%) | 0 | ||
Mekaaniset ominaisuudet | Taivutuslujuus (MPa) | 400 | |
Youngin moduuli (GPa) | 400 | ||
Vickersin kovuus (GPa) | 20 | ||
Lämpöominaisuudet | Suurin käyttölämpötila (°C) | 1600 | |
Lämpölaajenemiskerroin | Lämpötila-arvo ~500 °C | 3.9 | |
(1/°C x 10⁻⁶) | Lämpötila ~ 800 °C | 4.3 | |
Lämmönjohtavuus (W/m² x K) | 130 110 | ||
Lämpöshokin kestävyys ΔT (°C) | 300 | ||
Sähköiset ominaisuudet | Tilavuusresistiivisyys | 25°C | 3 x 106 |
300 °C | - | ||
500 °C | - | ||
800 °C | - | ||
Dielektrisyysvakio | 10 GHz | - | |
Dielektrinen häviö (x 10⁻⁴) | - | ||
Q-tekijä (x 104) | - | ||
Dielektrinen läpilyöntijännite (KV/mm) | - |
♦Piinitridikeraaminen
Materiaali | Yksikkö | Si₃N₄ |
Sintrausmenetelmä | - | Kaasupainesintrattu |
Tiheys | g/cm³ | 3.22 |
Väri | - | Tummanharmaa |
Veden imeytymisnopeus | % | 0 |
Nuori moduuli | Keskiarvo | 290 |
Vickersin kovuus | Keskiarvo | 18–20 |
Puristuslujuus | MPa | 2200 |
Taivutuslujuus | MPa | 650 |
Lämmönjohtavuus | W/mK | 25 |
Lämpöshokin kestävyys | Δ (°C) | 450–650 |
Suurin käyttölämpötila | °C | 1200 |
Tilavuusresistiivisyys | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrinen vakio | - | 8.2 |
Läpilyöntilujuus | kV/mm | 16 |