Graniittikomponentteja on käytetty laajasti puolijohteiden valmistusprosessissa niiden erinomaisten ominaisuuksien, kuten erinomaisen pinta -alaisen, suuren jäykkyyden ja erinomaisen tärinän vaimennuksen vuoksi. Graniittikomponentit ovat välttämättömiä puolijohteiden valmistuslaitteille, mukaan lukien litografiakoneet, kiillotuskoneet ja metrologiajärjestelmät, koska ne tarjoavat tarkkuuden sijainnin ja stabiilisuuden valmistusprosessin aikana. Kaikista graniittikomponenttien käytön eduista huolimatta niillä on myös vikoja. Tässä artikkelissa keskustellaan puolijohteiden valmistusprosessituotteiden graniittikomponenttien virheistä.
Ensinnäkin graniittikomponenteilla on korkea lämpölaajennuskerroin. Se tarkoittaa, että ne laajenevat merkittävästi lämpörasituksessa, mikä voi aiheuttaa ongelmia valmistusprosessin aikana. Puolijohteiden valmistusprosessi vaatii suurta tarkkuutta ja mittatarkkuutta, joka voi vaarantua lämpöjännityksen vuoksi. Esimerkiksi piin kiekkojen muodonmuutokset lämpölaajennuksesta voi aiheuttaa kohdistusongelmia litografian aikana, mikä voi vaarantaa puolijohteen laadun.
Toiseksi graniittikomponenteilla on huokoisuusvaurioita, jotka voivat aiheuttaa tyhjiövuotoja puolijohteiden valmistusprosessissa. Ilman tai minkä tahansa muun kaasun läsnäolo järjestelmässä voi aiheuttaa saastumista kiekon pinnalla, mikä johtaa virheisiin, jotka voivat vaikuttaa puolijohdelaitteen suorituskykyyn. Inertit kaasut, kuten argon ja helium, voisivat vuotaa huokoisiin graniittikomponentteihin ja luoda kaasukuplia, jotka voivat häiritä tyhjiöprosessin eheyttä.
Kolmanneksi, graniittikomponenteilla on mikrofraktioita, jotka voivat häiritä valmistusprosessin tarkkuutta. Graniitti on hauras materiaali, joka voisi kehittää mikrofraktuureja ajan myötä, etenkin kun ne altistetaan jatkuville stressisykleille. Mikrofraktioiden läsnäolo voi johtaa mittasuhteen epävakauteen, aiheuttaen merkittäviä ongelmia valmistusprosessin aikana, kuten litografian kohdistus tai kiekkojen kiillotus.
Neljänneksi, graniittikomponenteilla on rajoitettu joustavuus. Puolijohteiden valmistusprosessi vaatii joustavia laitteita, joihin mahtuu erilaisia prosessimuutoksia. Graniittikomponentit ovat kuitenkin jäykkiä eivätkä pysty sopeutumaan erilaisiin prosessimuutoksiin. Siksi kaikki valmistusprosessin muutokset edellyttävät graniittikomponenttien poistamista tai korvaamista, mikä johtaa seisokkeihin ja vaikuttaa tuottavuuteen.
Viidenneksi graniittikomponentit vaativat erityistä käsittelyä ja kuljetusta niiden painon ja haurauden vuoksi. Graniitti on tiheä ja raskas materiaali, joka vaatii erikoistuneita käsittelylaitteita, kuten nostureita ja nostimia. Lisäksi graniittikomponentit vaativat huolellista pakkaamista ja kuljetusta vaurioiden estämiseksi lähetyksen aikana, mikä johtaa lisäkustannuksiin ja aikaan.
Yhteenvetona voidaan todeta, että graniittikomponenteilla on joitain haittoja, jotka voivat vaikuttaa puolijohteiden valmistusprosessien tuotteiden laatuun ja tuottavuuteen. Nämä viat voitaisiin minimoida huolellisesti käsittelemällä ja ylläpitämällä graniittikomponentteja, mukaan lukien määräajoin mikrofraktioiden ja huokoisuusvaurioiden, asianmukaisen puhdistuksen saastumisen estämiseksi ja huolellisen käsittelyn kuljetuksen aikana. Vikoista huolimatta graniittikomponentit ovat edelleen elintärkeä osa puolijohteiden valmistusprosessia niiden paremman pinnan, suuren jäykkyyden ja erinomaisen värähtelyn vaimennuksen vuoksi.
Viestin aika: joulukuu-05-2023