Graniittikomponentteja on käytetty laajalti puolijohteiden valmistusprosessissa niiden erinomaisten ominaisuuksien, kuten erinomaisen pinnan viimeistelyn, suuren jäykkyyden ja erinomaisen tärinänvaimennus, ansiosta.Graniittikomponentit ovat välttämättömiä puolijohteiden valmistuslaitteissa, mukaan lukien litografiakoneet, kiillotuskoneet ja metrologiset järjestelmät, koska ne tarjoavat tarkan paikantamisen ja vakauden valmistusprosessin aikana.Kaikista graniittikomponenttien käytön eduista huolimatta niissä on myös puutteita.Tässä artikkelissa käsittelemme puolijohdevalmistusprosessituotteiden graniittikomponenttien vikoja.
Ensinnäkin graniittikomponenteilla on korkea lämpölaajenemiskerroin.Tämä tarkoittaa, että ne laajenevat merkittävästi lämpörasituksen alaisena, mikä voi aiheuttaa ongelmia valmistusprosessin aikana.Puolijohteiden valmistusprosessi vaatii suurta tarkkuutta ja mittatarkkuutta, joka voi vaarantua lämpörasituksen vuoksi.Esimerkiksi lämpölaajenemisesta johtuva piikiekon muodonmuutos voi aiheuttaa kohdistusongelmia litografian aikana, mikä voi vaarantaa puolijohdelaitteen laadun.
Toiseksi graniittikomponenteissa on huokoisuusvirheitä, jotka voivat aiheuttaa tyhjiövuotoja puolijohteiden valmistusprosessissa.Ilman tai minkä tahansa muun kaasun läsnäolo järjestelmässä voi aiheuttaa kontaminaatiota kiekon pinnalla, mikä voi aiheuttaa vikoja, jotka voivat vaikuttaa puolijohdelaitteen suorituskykyyn.Inertit kaasut, kuten argon ja helium, voivat imeytyä huokoisiin graniittikomponentteihin ja muodostaa kaasukuplia, jotka voivat häiritä tyhjiöprosessin eheyttä.
Kolmanneksi graniittikomponenteissa on mikromurtumia, jotka voivat häiritä valmistusprosessin tarkkuutta.Graniitti on hauras materiaali, johon saattaa kehittyä mikromurtumia ajan myötä, varsinkin kun se altistuu jatkuville jännityssykleille.Mikromurtumien esiintyminen voi johtaa mittasuhteiden epävakauteen, mikä aiheuttaa merkittäviä ongelmia valmistusprosessin aikana, kuten litografian kohdistus tai kiekkojen kiillotus.
Neljänneksi graniittikomponenttien joustavuus on rajallinen.Puolijohteiden valmistusprosessi vaatii joustavia laitteita, jotka voivat mukautua erilaisiin prosessimuutoksiin.Graniittikomponentit ovat kuitenkin jäykkiä eivätkä voi mukautua erilaisiin prosessimuutoksiin.Siksi kaikki valmistusprosessin muutokset edellyttävät graniittikomponenttien poistamista tai vaihtamista, mikä johtaa seisokkeihin ja vaikuttaa tuottavuuteen.
Viidenneksi graniittikomponentit vaativat erityistä käsittelyä ja kuljetusta niiden painon ja haurauden vuoksi.Graniitti on tiheä ja raskas materiaali, joka vaatii erikoiskäsittelylaitteita, kuten nostureita ja nostureita.Lisäksi graniittikomponentit vaativat huolellista pakkaamista ja kuljetusta, jotta ne eivät vaurioidu kuljetuksen aikana, mikä lisää kustannuksia ja aikaa.
Yhteenvetona voidaan todeta, että graniittikomponenteilla on joitain haittoja, jotka voivat vaikuttaa puolijohdevalmistusprosessin tuotteiden laatuun ja tuottavuuteen.Nämä viat voidaan minimoida graniittikomponenttien huolellisella käsittelyllä ja huollolla, mukaan lukien mikromurtumien ja huokoisuusvirheiden määräaikainen tarkastus, asianmukainen puhdistus kontaminaatioiden estämiseksi ja huolellinen käsittely kuljetuksen aikana.Vioista huolimatta graniittikomponentit ovat edelleen tärkeä osa puolijohteiden valmistusprosessia erinomaisen pintakäsittelynsä, suuren jäykkyytensä ja erinomaisen tärinänvaimennuksensa ansiosta.
Postitusaika: 5.12.2023