8 tyypillistä tarkkuusgraniittikomponenttien sovellusta puolijohdelaitteissa

Puolijohdelaitteissa perusrakenne on osa tarkkuusbudjettia. Kiekkojen tarkastustyökalu, laserkäsittelyalusta tai mittausvaihe ei tarvitse ainoastaan ​​mittatarkkaa rakennetta heti alkuvaiheessa. Sen on myös säilytettävä geometriansa lämpösyklien läpi, kestettävä tärinää, säilytettävä kokoonpanosuhteensa ja pysyttävä puhtaana kontrolloidussa ympäristössä. Tämä vaatimusten yhdistelmä on syy siihen, miksi tarkkuusgraniitista on tullut puolijohdeteollisuuden vakiorakennemateriaali.

Alla on kahdeksan tyypillistä sovellustatarkkuusgraniittikomponentitpuolijohdelaitteissa ja jokaiselle osalle: tyypilliset osat, menestykseen vaikuttavat tekniset näkökohdat ja mitä toimittajan tulisi toimittaa. Jos suunnittelet uutta työkalua, tämä on myös tarkistuslista tiedusteluasi varten.

Suuri koneistettu graniittijalusta, jossa on jyrsityt taskut ja kierteitetyt insertit – puolijohdelaitemoduulin rakenteellinen perusta.

1. Kiekkojen tarkastus- ja optisen mittaustekniikan laitteiden alustat

Optisilla tarkastus-, vikojen tarkistus- ja visuaalisilla mittausjärjestelmillä on kaikilla yksi yhteinen vaatimus: vakaa kiinnitys ja mittausreferenssi korkean resoluution optiikan alla. Kaikki alustan mikroliikkeet muuttuvat kuvassa kohinaksi.

• Tyypilliset komponentit:graniittijalusta, pylväs, silta, optisen kiskon kiinnityspinta, kierteitetyt insertit.
• Tekniikan painopiste:optisen referenssitason tasaisuus, kiinnityspintojen välinen yhdensuuntaisuus, reiän sijainnin tarkkuus, terminen stabiilius, tärinänvaimennus.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:materiaalivalinta, rakenteellinen koneistus, tarkkuushionta, inserttien asennus ja mittatarkastusraportit jokaiselle kriittiselle pinnalle.
• Tiedusteluasi varten:2D/3D-piirustukset, optinen hyötykuorma, kohteen toistettavuus, ympäristön lämpötila-alue.

2. Kiekkojen käsittely- ja tarkkuusasemointialustat

XY-pöydät, lineaarimoottorialustat ja tarkat paikannusmekanismit tarvitsevat jäykän mekaanisen peruspisteen, joka ei ajaudu eteenpäin pöydän kiihdyttäessä ja hidastuessa tuhansia kertoja tunnissa.

• Tyypilliset komponentit:graniittinen pohjalevy, graniittikonepeti, lineaarijohteiden kiinnityskiskot, moottorin kiinnitysalustat.
• Tekniikan painopiste:johdekiskojen istukoiden tasaisuus ja suoruus, akselien välinen kohtisuoruus, insertin ulosvetolujuus, lavan aiheuttaman värähtelyn vaimennus.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:Kiskoistukan koneistus tiukalla toleranssilla, insertin asennus vääntömomenttidokumentaatioineen, modaali- ja tasaisuusmittausdatoineen.
• Tiedusteluasi varten:iskunpituus, kuormitus, kiihtyvyysprofiili, kohteen paikannustarkkuus, asennussuunta.

3. AOI-laitteiden rakenneosat

Automatisoidut optiset tarkastustyökalut yhdistävät korkean resoluution kuvantamisen nopeaan liikkeeseen. Jalusta, palkki ja pylväs kannattelevat kameroita ja valaistusta, ja kokoonpanokehys pitää jokaisen moduulin geometrisessa suhteessa toisiinsa.

• Tyypilliset komponentit:graniittijalusta, poikkipalkki, pylväs, kameran ja anturin kiinnityspinnat, kokoonpanokehyksen rajapinnat.
• Tekniikan painopiste:pilarin ja pohjan suorakulmaisuus, palkin yhdensuuntaisuus, reikien ja urien sijainnin tarkkuus, pitkäaikainen geometrinen stabiilius.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:koneistetut ja limittäiset rakenneosat, metalliosien liitoskohdat, tehtaan esikokoonpano ja geometrian tarkastus ennen toimitusta.
• Tiedusteluasi varten:CAD-data, kameran ja valaistuksen asettelu, liikevaippa, vaadittu kuvanvakaus.

4. Teollisuuden TT- ja röntgentarkastusjärjestelmien perusteet

Teollisuuden TT- ja röntgenjärjestelmät sisältävät lähteen, manipulointivaiheen ja ilmaisimen samalle rakenteelle. Kaikki näiden kolmen välinen suhteellinen liike näkyy kuvavirheenä.

• Tyypilliset komponentit:graniittijalusta, pyörivän lavan kiinnityslevy, lähde- ja ilmaisinpylväät, säteilysuojauksen integrointipinnat.
• Tekniikan painopiste:koaksiaalinen kohdistuspiste lähteen, vaiheen ja ilmaisimen välillä, pyörimisakselin istukan tasaisuus, tärinänvaimennus, reiän paikan tarkkuus.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:Monipintatyöstö kohdistuspisteillä, terän asennus, täydellinen mittaraportti mittausolosuhteiden mukaisesti.
• Tiedusteluasi varten:lähteen ja ilmaisimen välinen etäisyys, pyörivä hyötykuorma, kohteen resoluutio, lattiapinta-ala ja asennustapa.

5. Laserprosessoinnin ja -mittauksen alustat

Femtosekunti- ja pikosekuntilaserilla tehtävä mikrotyöstö, tarkkuusmerkintä, optinen kohdistus ja lasermittauslaitteet kohdistavat energian mikroneissa mitatun sädeviivan läpi. Optiikan alla oleva alusta ei saa liikuttaa sädettä.

• Tyypilliset komponentit:graniittialusta, optinen päätuki, säderadan kiinnityskiskot, työkappalepöytä.
• Tekniikan painopiste:optisen kiinnitystason tasaisuus, terminen stabiilius suljetuissa laserympäristöissä, korkeataajuisen värähtelyn vaimennus.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:hienorakeinen graniitti valittuna vaimentamiseen, limitetyt optiset asennuspinnat, integrointi hunajakenno- tai teräsrakenteisiin tarvittaessa.
• Tiedusteluasi varten:laserin aallonpituus ja teho, optinen asettelu, työalue, puhtausvaatimukset.

6. KMK, videomittaus- ja tarkkuusmetrologialaitteet

Graniitti on pitkään ollut mittaustekniikan vakiomateriaali: työpöydät, johteet, pylväät, CMM-koneiden sillat ja jalustat, videomittauskoneet ja muut tarkkuusmittauslaitteet ovat riippuvaisia ​​graniitin vakaudesta ja hiotavuudesta.

• Tyypilliset komponentit:työpöytätarkkuusmittausreferenssipinnat, silta- ja pylväsrakenteet, johdeistuimet.
• Tekniikan painopiste:mittauspöydän mikronitason tasaisuus, johdekiskojen istukoiden suoruus koko matkalla, kulutuskestävyys liukuvassa kosketuksessa.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:käsinläppätyt pinnat tasaisuuskarttoineen, kalibrointitodistukset, jotka ovat jäljitettävissä käytettyyn instrumenttiin, valinnainen sovitettu läppäys.
• Tiedusteluasi varten:mittausalue, tarkkuusluokka, MPE-kohde, sovellettavat standardit.

7. Ilmalaakerilliset tarkkuusliikealustat

Ilmalaakerit liikkuvat paineistetulla kalvolla ilman kiinteää kosketusta, mikä vähentää kitkaa ja kulumista lähes nollaan. Ilmalaakerin alla oleva graniitti ei ole passiivinen lohko: sen pinnan laatu määrittää suoraan kalvon käyttäytymisen.

• Tyypilliset komponentit:graniittinen jalusta limittäinilmalaakeripinnat, ohjauskiskot, graniittiset masterit pyöreyden ja tasaisuuden säätöön, ultratarkat lavarakenteet.
• Tekniikan painopiste:ilmakalvopintojen pinnanlaatu ja tasaisuus, huokosten ja mikrovirheiden hallinta, vastakkaisten laakeripintojen yhdensuuntaisuus, pitkäaikainen vakaus.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:läpätyt ja kiillotetut ilmalaakeripinnat sertifioidulla geometrialla, yhteensovitetuilla pintasarjoilla ja puhdastilayhteensopivalla pakkauksella.
• Tiedusteluasi varten:ilmatyynyn suunnittelu, kuormitus ja esijännitys, liikerata, kohteen suoruus tai pyöreys.

8. Modulaariset kokoonpanoalustat puolijohdelaitteiden moduuleille

Tarkkojen moduulien lopullinen integrointi tapahtuu kontrolloidussa lämpötilassa, kosteudessa ja tärinässä, usein puhdastilassa. Graniittialustat toimivat kokoonpanon lähtökohtana, jossa graniittiosat, metalliosat, keraamiset osat, kiskot, ilmalaakerikomponentit ja liikemoduulit yhdistyvät.

• Tyypilliset komponentit:modulaariset graniittikokoonpanoalustat, työkalu- ja kiinnitysliitännät, moduulien telakointipinnat.
• Tekniikan painopiste:moduulien välinen datan yhdenmukaisuus, inserttien ja tappien tarkkuus, yhteensopivuus puhdastilan kokoonpano-olosuhteiden kanssa.
• Mitä ZHHIMG tarjoaa:puhdastilakokoonpano, tarkastus ja kalibrointikokonaisista moduuleista, jotka yhdistävät graniitti-, metalli- ja keraamiset komponentit varmennettuun kokoonpanoon.
• Tiedusteluasi varten:moduuliluettelo, puhtausluokka, kokoonpanojärjestys, lopputarkastuskriteerit.

Yksi suunnittelun tarkistuslista kaikille kahdeksalle sovellukselle

Näissä sovelluksissa suunnittelukysymykset pysyvät samoina: minkä geometrian on kestettävä, millä alueella, missä lämpö- ja tärinäympäristössä ja kuinka kauan. Graniittitoimittaja, joka pystyy vastaamaan mitatuilla tiedoilla – tasaisuuskartoilla, erämateriaaliraporteilla, terän vääntömomenttitiedoilla – on toimittaja, joka voidaan auditoida. ZHHIMG tukeepuolijohdelaitteetvalmistajat, joilla on juuri tuo lähestymistapa.

ZHHIMG® tukee puolijohdelaitevalmistajia räätälöityjen graniittijalustojen, kehysten, johdekiskojen, ilmalaakerirakenteiden ja integroitujen tarkkuuskokoonpanojen avulla. Ota meihin yhteyttä ja toimita piirustuksesi teknistä arviointia varten.