Graniittisia ilmalaakerijärjestelmiä käytetään laajaltierittäin tarkkaliikealustat puolijohdevalmistukseen, optiseen kohdistukseen ja nanometrimittakaavan metrologiaan.
Nämä järjestelmät poistavat mekaanisen kosketuksen käyttämällä ohutta paineilmakalvoa, mikä saavuttaa lähes olemattoman kitkaliikkeen.
Ilmalaakeriperiaate
Ilmalaakerit toimivat tuomalla paineilmaa kahden pinnan väliin muodostaen 2–20 μm ilmakalvon.
Tämä poistaa:
- Mekaaninen kitka
- Käyttää
- Tikku-liukuminen
Järjestelmä perustuu nestekalvon dynamiikkaan ja vakaaseen laminaarivirtaukseen.
Graniitin rooli
Graniitti tarjoaa:
- Rakenteellinen vakaus
- Lämpödriifin vaimennus
- Tärinänvaimennus
Se toimii liikejärjestelmän mekaanisena vertailukohtana.
Järjestelmän komponentit
- Graniittipohja
- Ilmalaakerityynyt
- Ilmansyöttöjärjestelmä
- Tarkkuuskooderit
- Liikkeenohjausjärjestelmä
Suorituskykyominaisuudet
Tyypillinen suorituskyky sisältää:
- Alle mikronin paikannustarkkuus
- Suuri suoruus pitkillä matkoilla
- Ei mekaanista välystä
Keskeisiä virhelähteitä ovat ilmanpaineen epävakaus, lämpöajautuminen ja kooderivirhe.
Sovellukset
- Puolijohdekiekkojen tarkastus
- Litografiajärjestelmät
- Optiset kohdistusalustat
- Huippuluokan mittauslaitteet
Usein kysytyt kysymykset
Kuluvatko ilmalaakerit?
Mekaanisen kosketuksen puuttuminen poistaa kulumisen.
Miksi käyttää graniittia?
Vakauden ja tärinänvaimennuksen takaamiseksi.
Mikä rajoittaa tarkkuutta?
Ilman vakaus ja lämpövaikutukset.
Voivatko ne kantaa raskaita kuormia?
Kyllä, suunnittelusta riippuen.
Julkaisun aika: 03.07.2026