Puolijohdevalmistuksen tarkassa ketjussa kiekkojen siirtojärjestelmä on kuin "sirun tuotantolinjan elinehto", ja sen vakaus ja tarkkuus määräävät suoraan sirujen saantoasteen. Uuden sukupolven kiekkojen siirtojärjestelmät yhdistävät mullistavasti lineaarimoottorit graniittialustoihin, ja graniittimateriaalien ainutlaatuiset edut ovat juuri ydinkoodi, joka avaa tehokkaan siirron.
Graniittipohja: "Kalliovankan perustan" rakentaminen vakaalle tiedonsiirrolle
Graniitti, joka on käynyt läpi satojen miljoonien vuosien geologisen jalostuksen, omaa tiheän ja tasaisen sisäisen mineraalikiteytymisen. Tämä luonnollinen ominaisuus tekee siitä ihanteellisen perusmateriaalin kiekkojen siirtojärjestelmille. Puolijohdepuhdastilojen monimutkaisessa ympäristössä graniitti, jolla on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin (vain 5-7 × 10⁻⁶/℃), kestää laitteiden käytön aikana syntyvää lämpöä ja ympäristön lämpötilan muutosten vaikutusta, varmistaen peruskoon vakauden ja välttäen lämpömuodonmuutoksen aiheuttaman siirtoreitin poikkeaman. Sen erinomainen tärinänvaimennuskyky vaimentaa nopeasti lineaarimoottoreiden käynnistyksen, sammutuksen ja kiihdytyksen aikana syntyviä mekaanisia tärinöitä sekä muiden työpajan laitteiden käytön aiheuttamia ulkoisia häiriöitä, tarjoten vakaan alustan "nolla tärinää" kiekkojen siirtoon.
Samaan aikaan graniitin kemiallinen stabiilius varmistaa, että se ei korrodoi tai ruostu puolijohdepajoissa, joissa happo- ja emäsreagenssit ovat haihtuvia ja vaaditaan korkeaa puhtautta, jolloin vältetään materiaalin ikääntymisen tai epäpuhtauksien adsorption aiheuttama vaikutus siirtotarkkuuteen. Sileät ja tiheät pintaominaisuudet voivat tehokkaammin vähentää pölyn tarttumista, täyttää puhdastilojen tiukat pölyttömyysstandardit ja poistaa kiekkojen kontaminaatioriskin juuresta.
Lineaarimoottoreiden ja graniitin "kultaisen kumppanuuden" vaikutus
Lineaarimoottorit, joilla ei ole mekaanista voimansiirtovälystä, joilla on suuri kiihtyvyys ja vasteaika, antavat kiekkojen välitykselle "nopean, tarkan ja vakaan" edut. Graniittipohja tarjoaa sille vankan ja luotettavan tukialustan. Nämä kaksi toimivat yhdessä saavuttaakseen suorituskyvyn harppauksen. Kun lineaarimoottori ajaa kiekkojen kantoa graniittipohjan kiskoilla, pohjan vahva jäykkyys ja vakaus varmistavat moottorin käyttövoiman tehokkaan siirron, välttäen pohjan muodonmuutoksen aiheuttaman voimahäviön tai siirtoviiveen.
Nanoskaalan tarkkuuden vaatimusten ajamana lineaarimoottoreilla voidaan saavuttaa alle mikronin tason siirtymän säätö. Graniittialustojen erittäin tarkat prosessointiominaisuudet (tasaisuusvirheet ±1 μm:n tarkkuudella) vastaavat täydellisesti lineaarimoottoreiden tarkkaa ohjausta ja varmistavat yhdessä, että kiekkojen siirron aikana tapahtuva paikannusvirhe on alle ±5 μm. Olipa kyseessä sitten nopea siirto eri prosessilaitteiden välillä tai tarkka pysäköinti kiekkojen luovutusta varten, lineaarimoottoreiden ja graniittialustojen yhdistelmä voi varmistaa kiekkojen siirron "nollapoikkeaman ja nollavärinän".
Alan käytännön todentaminen: Tehokkuuden ja tuottoprosentin kaksinkertainen parannus
Päivitettyään kiekkojen siirtojärjestelmäänsä johtava maailmanlaajuinen puolijohdeyritys otti käyttöön lineaarimoottorin ja graniittialustan ratkaisun, joka paransi kiekkojen siirtotehokkuutta 40 %, vähensi siirtoprosessin aikana esiintyvien vikojen, kuten törmäysten ja offsetin, esiintyvyyttä 85 % ja paransi sirujen kokonaistuottoastetta 6 %. Datan takana on graniittialustan tarjoama tae siirron vakaudesta ja lineaarimoottorin nopea ja tarkka synergiavaikutus, joka vähentää merkittävästi kiekkojen siirtoprosessin häviöitä ja virheitä.
Materiaaliominaisuuksista tarkkuusvalmistukseen, suorituskykyeduista käytännön todentamiseen, lineaarimoottoreiden ja graniittialustojen yhdistelmä on määritellyt uudelleen kiekkojen siirtojärjestelmien standardit. Tulevaisuudessa, kun puolijohdeteknologia kehittyy kohti 3 nm:n ja 2 nm:n prosesseja, graniittimateriaalit antavat varmasti edelleen vahvan sysäyksen alan kehitykselle korvaamattomien etujensa ansiosta.
Julkaisun aika: 14.5.2025