Puolijohdeteollisuus toimii tarkkuusmittakaavassa, joka rikkoo ihmisen kekseliäisyyden rajoja. Tämän alan laadunvalvonnan ytimessä – viimeisessä, kriittisessä vaiheessa ennen kuin siru katsotaan valmiiksi markkinoille – on näennäisen yksinkertainen materiaali: graniitti. Tarkkuusgraniittialustat ovat erityisesti puolijohdesirujen tarkastuksen ensisijainen ratkaisu, mikä saattaa yllättää alan ulkopuoliset. ZHONGHUI Groupilla (ZHHIMG®) ymmärrämme tämän suhteen läpikotaisin. Asiantuntemuksemme erittäin tarkkojen graniittikomponenttien ja mittaustyökalujen valmistuksessa on tehnyt meistä tärkeän kumppanin joillekin maailman johtaville puolijohde- ja metrologiayrityksille. Graniitin käyttö tässä kriittisessä sovelluksessa ei ole perinteen, vaan puhtaan fysiikan ja tekniikan kysymys. Kyse on ainutlaatuisten ja vaativien vaatimusten täyttämisestä, joita mikään muu materiaali ei voi täyttää yhtä tehokkaasti.
Vakauden järkkymätön vaatimus
Puolijohdesirujen tarkastus ei ole pelkästään vikojen etsimistä; se varmistaa, että mikroskooppiset, usein nanometreinä mitatut ominaisuudet ovat täydellisen muotoisia. Tämä prosessi edellyttää kehittyneitä laitteita, kuten optisia tarkastusjärjestelmiä (AOI) ja teollisuustietokonetomografialaitteita, joiden on pysyttävä täysin vakaina skannauksen aikana. Mikä tahansa tärinä, lämpölaajeneminen tai rakenteellinen ajautuminen voi aiheuttaa virheitä, jotka johtavat vääriin positiivisiin tuloksiin tai, mikä pahempaa, havaitsemattomiin vikoihin.
Tässä graniitti loistaa. Toisin kuin metalli, joka laajenee ja supistuu merkittävästi lämpötilan muutosten myötä, graniitilla on uskomattoman alhainen lämpölaajenemiskerroin. ZHHIMG®-mustan graniitin tiheys on noin 3100 kg/m3, mikä tarjoaa poikkeuksellisen lämmönkestävyyden. Tämä tarkoittaa, että graniittialusta säilyttää muotonsa ja tasaisuutensa myös ympäristöissä, joissa ympäristön lämpötila vaihtelee hieman. Ilmastoidussa työpajassa, kuten 10 000 neliömetrin laitoksessamme, jossa lämpötilaa ylläpidetään sotilaallisella tarkkuudella, graniitin stabiilius on vertaansa vailla.
Lisäksi graniitin erinomaiset vaimennusominaisuudet ovat olennaisen tärkeitä. Se absorboi ja haihduttaa luonnollisesti mekaanisia värähtelyjä estäen niiden siirtymisen herkkiin tarkastuslaitteisiin. Kiireisessä, koneilla täytetyssä tuotantolaitoksessa tämä tärinänvaimennus on ratkaisevan tärkeää mittauksen eheyden ylläpitämiseksi. Työpajamme on suunniteltu tätä silmällä pitäen, ja niissä on erittäin paksut betonilattiat ja tärinänvaimennuskaivannot, jotka luovat ympäristön, jossa käsityöläisemme voivat saavuttaa nanometritason tarkkuuden työssään.
Absoluuttisen tasaisuuden tavoittelu
Jotta siruntarkastusjärjestelmä toimisi, sen pohjan on oltava mahdollisimman lähellä täysin tasaista. "Tasaisen pinnan" käsite ei tässä yhteydessä ole visuaalinen, vaan matemaattinen, mitattuna esimerkiksi Renishaw-laserinterferometreillä ja Swiss Wylerin elektronisilla vesivaa'illa. Siruntarkastajan tavoitteena on mitata sirun tasaisuus muutaman mikronin tai jopa nanometrin tarkkuudella. Tätä varten itse alustan on oltava suuruusluokkaa tasaisempi.
Graniitti on materiaali, joka voidaan erikoistuneilla käsinhiontatekniikoillamme hioa lähes vertaansa vailla olevaan tasaisuuteen. Mestarimme, joista monilla on yli 30 vuoden kokemus, omaavat tuntoaistin, jonka avulla he voivat "tuntea" vain muutaman mikronin tasaisuuspoikkeaman. Tämä inhimillinen kosketus yhdistettynä maailmanluokan laitteisiimme mahdollistaa nanometritason tasaisten graniittipintalevyjen valmistuksen, mikä tekee niistä ihanteellisen vertailutason kalibrointiin ja tarkastukseen. Tämä on perusta, jolle tarkka puolijohdetarkastus rakennetaan.
Ainutlaatuisten puolijohdeteollisuuden vaatimusten täyttäminen
Puolijohdeteollisuudella on myös erityistarpeita vakauden ja tasaisuuden lisäksi. Esimerkiksi monet tarkastusjärjestelmät käyttävät ilmalaakereita kitkattoman liikkeen saavuttamiseksi. Graniitti on erinomainen materiaali ilmalaakerijohteille sen luontaisen jäykkyyden ja huokoisuuden ansiosta, joka mahdollistaa hienon ja tasaisen ilmavirtauksen. Graniitista valmistetut ilmalaakerimme on koneistettu mittatilaustyönä tasaisen ja tarkan liikkeen varmistamiseksi, mikä on välttämätöntä nopeassa ja tarkassa tarkastuksessa.
Lisäksi ZHHIMG® Black Granite -graniitimme on ei-magneettinen eikä johta sähköä, mikä on ratkaisevan tärkeää herkille elektronisille komponenteille. Se ei häiritse testauslaitteiden tai itse sirun sähkömagneettisia kenttiä. Tätä neutraaliutta ei yksinkertaisesti voi tarjota monet metallialustat.
ZHHIMG®:llä emme myy vain graniittia. Tarjoamme kriittisen perustan maailman edistyneimmälle teknologialle. Sitoumuksemme asiakkaille on tarjota ratkaisuja, jotka eivät ole huijausta, salailua tai harhaanjohtamista. Teemme tiivistä yhteistyötä kumppaneidemme, kuten Samsungin kaltaisten jättiläisten ja mittauslaitosten, kanssa varmistaaksemme, että tuotteemme eivät ainoastaan täytä heidän vaatimuksiaan, vaan myös edistävät heidän teknologiansa kehitystä. Puolijohdevalmistuksen korkeiden panosten pelissä ZHHIMG®:n tarkkuusgraniittialustat ovat hiljainen ja liikkumaton voima, joka tarjoaa vakautta ja tarkkuutta, jotka herättävät huomisen innovaatiot eloon.
Julkaisun aika: 28.9.2025